| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·类金刚石薄膜概述 | 第11-21页 |
| ·类金刚石薄膜简介 | 第11-12页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第12-16页 |
| ·类金刚石薄膜的表征 | 第16-19页 |
| ·类金刚石薄膜的性质、应用及存在的主要问题 | 第19-21页 |
| ·电化学沉积DLC薄膜的研究现状 | 第21-23页 |
| ·金属掺杂DLC纳米复合薄膜的场发射性能研究进展 | 第23-24页 |
| ·本论文的选题依据和研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 电化学沉积DLC及镍掺杂DLC复合薄膜的制备与表征 | 第25-33页 |
| ·试验装置、原料及仪器 | 第25-26页 |
| ·基底的预处理和薄膜的制备 | 第26页 |
| ·薄膜的形成机理 | 第26-27页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第27页 |
| ·薄膜的结构、成分及形貌表征 | 第27-32页 |
| ·膜层厚度测量及表面形貌观察 | 第27-29页 |
| ·TEM分析 | 第29-30页 |
| ·XPS光谱分析 | 第30页 |
| ·Raman光谱分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 电化学沉积DLC及镍掺杂DLC复合薄膜的场发射特性研究 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·类金刚石薄膜场发射机理 | 第33-36页 |
| ·薄膜的制备和表征 | 第36页 |
| ·薄膜的场电子发射性能测试 | 第36-37页 |
| ·DLC和Ni-DLC薄膜的场电子发射性能 | 第37-38页 |
| ·讨论 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 退火处理对Ni-DLC复合薄膜微观结构及其性能影响 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·实验部分 | 第42页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第42页 |
| ·薄膜的结构、成分及形貌表征 | 第42-48页 |
| ·薄膜的形貌观察 | 第42-46页 |
| ·XRD分析 | 第46页 |
| ·Raman光谱分析 | 第46-48页 |
| ·样品的VSM表征 | 第48页 |
| ·场电子发射性能研究 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第64页 |
