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N离子束与PET表面相互作用机理及其对SiN_x/PET结合性能的影响

摘要第1-6页
Abstract第6-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·引言第9页
   ·PET简介第9-10页
   ·PET衬底的问题第10-11页
   ·PET表面改性方法第11-14页
     ·溶液处理方法第11-12页
     ·表面接枝法第12页
     ·低温等离子体处理第12-13页
     ·离子注入改性第13页
     ·低能离子束改性第13-14页
   ·低能离子束对聚合物表面改性的原理第14-15页
   ·课题的研究意义及内容第15-17页
     ·课题的提出第15-16页
     ·课题的研究内容第16-17页
第二章 实验部分第17-23页
   ·实验材料第17页
   ·实验设备第17-20页
   ·SiN_x/PET复合薄膜的制备第20页
     ·PET衬底的清洗第20页
     ·PET衬底的处理第20页
     ·SiN_x薄膜的制备第20页
   ·检测设备及其工作原理第20-22页
     ·成分及化学键分析第20-21页
     ·静态接触角表征第21-22页
     ·表面形貌表征第22页
 本章小结第22-23页
第三章 N离子束的工作压强与PET基底表面性能的研究第23-31页
   ·实验第23页
   ·XPS分析第23-28页
   ·接触角分析第28-30页
 本章小结第30-31页
第四章 工作功率与PET表面性能和SiN_x/PET复合性能的研究第31-39页
   ·实验第31页
   ·XPS分析第31-34页
   ·接触角分析第34-35页
   ·SiN_x/PET复合性能的分析第35-38页
 本章小结第38-39页
第五章 用XPS研究N掺杂PET与SiO_xN_y界面处的化学键结构第39-47页
   ·实验第39页
   ·界面处元素成分分析第39-41页
   ·Si 2p化学键结构分析第41-43页
   ·交联键模型分析第43-46页
 本章小结第46-47页
结论第47-48页
参考文献第48-51页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第51-52页
致谢第52页

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