玻璃真空镀膜生产线控制系统的研究和设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题研究的背景与意义 | 第9页 |
| ·玻璃镀膜技术在国内外的发展状况 | 第9-11页 |
| ·国外的发展状况 | 第9-10页 |
| ·国内的发展状况 | 第10-11页 |
| ·论文的主要内容和章节安排 | 第11-13页 |
| 2 真空磁控溅射镀膜技术 | 第13-22页 |
| ·镀膜技术 | 第13-14页 |
| ·磁控溅射镀膜技术的工作原理和主要参数 | 第14-16页 |
| ·平面磁控溅射镀膜的工作特性 | 第16-17页 |
| ·基于平面磁控溅射镀膜的生产线工艺过程 | 第17-18页 |
| ·玻璃膜层质量的主要评估因素 | 第18-19页 |
| ·膜厚均匀性的影响因素 | 第19-22页 |
| 3 生产线工艺过程控制系统的设计 | 第22-34页 |
| ·真空环境的控制 | 第22-27页 |
| ·工艺气体配气的控制 | 第27-29页 |
| ·阴极电源的控制 | 第29-34页 |
| 4 生产线传动控制系统的设计 | 第34-48页 |
| ·控制要求 | 第34-35页 |
| ·传动系统构成和传动方式 | 第35页 |
| ·永磁同步伺服系统的原理和设计 | 第35-44页 |
| ·永磁同步伺服电机的控制方法 | 第36-37页 |
| ·PMSM 矢量控制 | 第37-42页 |
| ·永磁同步伺服系统的选型 | 第42-44页 |
| ·玻璃运行的速度和位置控制 | 第44-46页 |
| ·玻璃长度计量和分组传出控制 | 第46-48页 |
| 5 玻璃真空镀膜生产线控制系统的整体设计 | 第48-57页 |
| ·生产线控制要求 | 第48页 |
| ·生产线主要控制设备 | 第48-51页 |
| ·生产线控制系统通信网络 | 第51-53页 |
| ·工业以太网 | 第51-52页 |
| ·PROFIBUS 现场总线 | 第52-53页 |
| ·玻璃真空镀膜生产线控制系统的设计 | 第53-57页 |
| ·玻璃真空镀膜生产线控制系统硬件组态 | 第53-54页 |
| ·玻璃真空镀膜生产线控制系统 DCS 网络结构 | 第54-56页 |
| ·玻璃真空镀膜生产线上位机监控系统 | 第56-57页 |
| 6 总结和展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第62页 |
