| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·铁电材料概述 | 第9-13页 |
| ·铁电材料的发展历史 | 第10-11页 |
| ·铁电材料的研究现状和应用 | 第11-13页 |
| ·铁电材料的机电耦合性能研究 | 第13-16页 |
| ·压电效应 | 第13-15页 |
| ·电致伸缩效应 | 第15-16页 |
| ·弛豫铁电材料的研究现状 | 第16-20页 |
| ·弛豫铁电材料的特性 | 第16-18页 |
| ·弛豫铁电陶瓷和薄膜的研究 | 第18-20页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第20-22页 |
| ·本文的选题依据 | 第20-21页 |
| ·本文的主要工作 | 第21-22页 |
| 第2章 基于共面电极结构悬臂梁测量 PMN 压电系数 d_(15)的方法 | 第22-34页 |
| ·d_(15)模式共面电极结构悬臂梁机电模型建模 | 第22-27页 |
| ·共面电极结构悬臂梁模型 | 第22-23页 |
| ·共面电极结构悬臂梁模型推导 | 第23-27页 |
| ·d_(15)模式共面电极结构悬臂梁设计与制作 | 第27-29页 |
| ·d_(15)模式共面电极结构悬臂梁实验验证 | 第29-31页 |
| ·共面电极结构悬臂梁测试 | 第29-30页 |
| ·共面电极结构悬臂梁加速度-电荷关系 | 第30-31页 |
| ·d_(15)模式共面电极结构悬臂梁有限元验证 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 NBT-BT6 弛豫铁电薄膜的制备与微结构表征 | 第34-41页 |
| ·MOD 法制膜介绍 | 第34页 |
| ·MOD 法制膜所需的仪器、材料及环境要求 | 第34-36页 |
| ·MOD 法制备薄膜过程 | 第36-37页 |
| ·前驱体溶液的配置流程 | 第36页 |
| ·制膜的工艺流程 | 第36-37页 |
| ·NBT-BT6 薄膜的微观结构及形貌表征 | 第37-40页 |
| ·XRD 表征晶体结构和成分 | 第37-38页 |
| ·表面形貌和截面形貌表征 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 基于电致伸缩方程表征 NBT-BT6 铁电薄膜机电耦合性能 | 第41-50页 |
| ·NBT-BT6 薄膜电致伸缩性能研究方法 | 第41-42页 |
| ·NBT-BT6 薄膜的铁电、介电、压电和漏电流性能 | 第42-46页 |
| ·铁电、介电和压电性能 | 第42-46页 |
| ·漏电流性能 | 第46页 |
| ·NBT-BT6 薄膜的电致伸缩性能 | 第46-48页 |
| ·电致伸缩系数 | 第46-47页 |
| ·电致伸缩应变 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·论文总结 | 第50页 |
| ·研究展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第57页 |
