半导体分立器件测试系统中程控高压板的设计与实现
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题背景与意义 | 第11-12页 |
| ·研究现状与发展态势 | 第12-13页 |
| ·本论文的研究内容与结构安排 | 第13-15页 |
| 第二章 程控高压板总体设计 | 第15-41页 |
| ·程控高压板的设计需求 | 第15-17页 |
| ·半导体分立器件综合测试系统简介 | 第15-17页 |
| ·程控高压板功能及指标要求 | 第17页 |
| ·总体方案设计 | 第17-40页 |
| ·反向击穿电压测试方法 | 第17-25页 |
| ·程控高压源实现方法 | 第25-30页 |
| ·高压测试方法 | 第30-33页 |
| ·漏电流测试方法 | 第33-38页 |
| ·程控高压板的总体方案 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 程控高压板硬件电路设计 | 第41-64页 |
| ·程控高压直流源电路设计 | 第41-49页 |
| ·高压源 DAC 电路设计 | 第42-43页 |
| ·一级放大电路设计 | 第43-46页 |
| ·二级放大电路设计 | 第46-49页 |
| ·测压电路设计 | 第49-52页 |
| ·测流、电流监测与箝位电路设计 | 第52-57页 |
| ·测流电路设计 | 第52-55页 |
| ·电流监测电路设计 | 第55-57页 |
| ·箝位电路设计 | 第57页 |
| ·高压板的 EMC 设计 | 第57-63页 |
| ·噪声的耦合方式 | 第58-62页 |
| ·实施方法与技术 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 FPGA 逻辑与驱动程序设计 | 第64-84页 |
| ·FPGA 逻辑设计 | 第64-76页 |
| ·复位信号发生器设计 | 第65-66页 |
| ·箝位与电流监测控制逻辑设计 | 第66-69页 |
| ·ADC 接口控制器设计 | 第69-72页 |
| ·高压源控制器的设计 | 第72-73页 |
| ·反向击穿电压测试控制器的设计 | 第73-76页 |
| ·高压板的驱动程序设计 | 第76-83页 |
| ·I/O 接口程序介绍 | 第77-78页 |
| ·FVMV 接口设计 | 第78-80页 |
| ·FVMI 接口的设计 | 第80-81页 |
| ·BVT 接口设计 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 调试结果与分析 | 第84-93页 |
| ·程控高压板调试平台介绍 | 第84-85页 |
| ·程控高压板测试数据处理及校准方法 | 第85-86页 |
| ·程控高压板测试 | 第86-92页 |
| ·程控高压源性能测试 | 第86-88页 |
| ·FVMV 测试 | 第88-89页 |
| ·FVMI 测试 | 第89-90页 |
| ·BVT 测试 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-97页 |
