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随机阵列纳米蛾眼减反结构的制备及应用研究

中文摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-23页
   ·传统光学减反增透薄膜第10-12页
   ·纳米蛾眼减反结构第12-14页
   ·减反结构的模拟方法概述第14-16页
   ·纳米蛾眼减反结构的制备方法第16-19页
   ·纳米蛾眼减反结构的应用第19-20页
   ·本文研究内容及论文结构第20-23页
     ·本文研究内容第20-21页
     ·本文整体结构第21-23页
第二章 纳米蛾眼减反结构的模拟分析第23-33页
   ·纳米蛾眼减反结构的理论分析方法——严格耦合波理论第23-27页
   ·纳米蛾眼减反结构的模拟第27-31页
     ·高度不同的纳米蛾眼结构模拟第28-29页
     ·不同直径的纳米蛾眼减反结构模拟第29-30页
     ·随机分布的纳米蛾眼结构模拟第30-31页
     ·高度不同、结构大小不同的随机排布纳米结构的模拟第31页
   ·纳米减反结构的优化第31-32页
   ·小结第32-33页
第三章 纳米蛾眼减反结构的制备第33-47页
   ·纳米蛾眼减反结构的制备流程第33-36页
     ·金属银层的制备第33-34页
     ·金属银粒子制备第34-35页
     ·减反结构的刻蚀工艺第35-36页
   ·结果与分析第36-44页
     ·银层厚度与银粒子密度和平均直径关系第36-38页
     ·退火温度与银粒子密度和平均直径关系第38页
     ·ICP 刻蚀结果与分析第38-39页
     ·RIE 刻蚀结果与分析第39-43页
     ·模拟与实验对比第43-44页
   ·石英基底上制备的随机纳米蛾眼结构第44-45页
   ·小结第45-47页
第四章 减反结构在聚合物太阳能电池上的应用第47-54页
   ·聚合物太阳能电池的原理第47-50页
   ·具有减反结构的太阳能电池的制备第50-51页
   ·实验结果及分析第51-52页
   ·小结第52-54页
第五章 总结与展望第54-56页
参考文献第56-61页
攻读硕士学位期间研究成果第61-62页
致谢第62-63页

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