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MOCVD法制备REBCO超导厚膜及多层膜夹层材料的结构和性能研究

内容提要第1-5页
中文摘要第5-7页
Abstract第7-15页
第1章 绪论第15-35页
   ·超导体的发展历史第15-16页
   ·超导体的性质及分类第16-19页
     ·零电阻第16-17页
     ·完全抗磁性第17-18页
     ·宏观量子效应第18页
     ·超导体的分类第18-19页
   ·高温超导材料概况第19-20页
   ·高温超导技术发展与应用第20-23页
     ·高温超导强电应用技术第20-22页
     ·高温超导弱电应用技术第22-23页
   ·REBa_2Cu_3O_7-δ(RE=Y,Gd)高温超导薄膜及涂层导体的发展第23-32页
     ·YBa_2Cu_3O_7-δ高温超导材料简介第23-25页
     ·GdBa_2Cu_3O_7-δ高温超导材料简介第25-26页
     ·REBa_2Cu_3O_7-δ高温超导膜材料制备技术第26-30页
     ·REBCO 涂层导体发展及遇到的问题第30-32页
   ·论文的选题意义及主要内容第32-35页
第2章 光辅助 MOCVD 系统及超导薄膜表征技术第35-55页
   ·光辅助金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术第35-42页
     ·MOCVD 技术简介第35-37页
     ·光激发优势理论第37-38页
     ·本论文使用光辅助 MOCVD 系统介绍第38-42页
   ·光辅助 MOCVD 技术制备 REBCO 超导薄膜第42-47页
     ·衬底选择第42-43页
     ·金属有机源第43-45页
     ·制备 REBCO 超导薄膜的实验流程第45-47页
   ·REBCO 超导薄膜的分析表征手段第47-54页
     ·结晶质量分析第47-48页
     ·形貌表征第48-51页
     ·厚度测试第51页
     ·成分分析第51-53页
     ·电学性能测试第53-54页
 小结第54-55页
第3章 光辅助 MOCVD 法制备 YBCO 厚膜研究第55-87页
   ·引言第55页
   ·YBCO 薄膜的生长模式及工艺条件第55-60页
     ·薄膜的生长过程及生长模式第55-57页
     ·热力学条件对 YBCO 薄膜生长的影响第57-59页
     ·PhA-MOCVD 制备 YBCO 薄膜的工艺条件第59-60页
   ·生长温度对 YBCO 薄膜的影响第60-69页
     ·生长温度对 YBCO 薄膜结构的影响第61-64页
     ·生长温度对 YBCO 薄膜形貌的影响第64-66页
     ·生长温度对 YBCO 薄膜超导性能的影响第66-69页
   ·生长 YBCO 薄膜的源温优化研究第69-78页
     ·实验总体性介绍第70-71页
     ·源温优化及其对 YBCO 薄膜的影响第71-78页
   ·YBCO 超导厚膜的制备第78-85页
     ·沉积速率第79-80页
     ·薄膜形貌及晶体结构随膜厚度的变化第80-83页
     ·超导性能随厚度的变化第83-85页
   ·本章小结第85-87页
第4章 GdBCO 外延膜制备及厚度效应的研究第87-119页
   ·多层膜结构介绍及中间夹层材料的选择第87-89页
   ·GdBCO 材料研究进展及本章的研究动机第89-91页
     ·GdBCO 材料研究进展第89-90页
     ·本章的研究动机第90-91页
   ·衬底温度对 GdBCO 薄膜生长的影响第91-97页
     ·实验条件第91-92页
     ·衬底温度对 GdBCO 薄膜结构的影响第92-94页
     ·衬底温度对 GdBCO 薄膜形貌的影响第94-96页
     ·衬底温度对 GdBCO 薄膜超导性能的影响第96-97页
   ·氧分压对 GdBCO 薄膜生长的影响第97-103页
     ·实验条件第97-98页
     ·氧分压对 GdBCO 薄膜结构的影响第98-102页
     ·热力学条件对 GdBCO 薄膜影响的机理分析第102-103页
   ·薄膜组分对超导性能的影响第103页
   ·不同厚度 GdBCO 的可控生长第103-117页
     ·沉积速率第104-105页
     ·厚度对薄膜形貌的影响第105-107页
     ·厚度对薄膜晶体结构的影响第107-111页
     ·外延膜变厚过程中应力的变化第111-113页
     ·不同厚度薄膜 PHI 扫描的孪峰现象分析第113-115页
     ·不同厚度薄膜的氧含量变化第115-116页
     ·超导性能随厚度的变化第116-117页
   ·本章小结第117-119页
第5章 多层膜夹层材料 Y_2O_3的光辅助 MOCVD 生长研究第119-145页
   ·研究背景第119-121页
     ·界面改性方法提高超导材料性能的原理第119页
     ·用于界面改性的非超导夹层材料的研究现状第119-121页
   ·应力诱导自组装生长 Y_2O_3纳米结构的实验设计第121-122页
   ·衬底热处理对应力诱导制备 Y_2O_3纳米薄层的影响第122-127页
     ·衬底热处理实验方法第122-123页
     ·经热处理后的图形化衬底对 Y_2O_3纳米薄层的影响第123-127页
   ·生长温度对 Y_2O_3纳米薄层材料生长的影响第127-134页
     ·实验条件第127页
     ·生长温度对 Y_2O_3纳米薄层材料形貌的影响第127-130页
     ·生长温度对 Y_2O_3纳米薄层材料结构的影响第130-131页
     ·生长温度对 Y_2O_3纳米薄层材料尺寸及密度的影响第131-133页
     ·生长温度影响 Y_2O_3纳米结构的机理第133-134页
   ·氧分压对 Y_2O_3纳米薄层材料生长的影响第134-139页
     ·实验条件第134页
     ·氧分压对 Y_2O_3纳米薄层材料形貌的影响第134-137页
     ·氧分压对 Y_2O_3纳米薄层材料尺寸及密度的影响第137-138页
     ·氧分压对 Y_2O_3纳米薄层材料组分比例的影响第138-139页
   ·生长时间对 Y_2O_3纳米薄层材料生长的影响第139-142页
     ·实验条件第140页
     ·生长时间对 Y_2O_3纳米薄层材料尺寸及密度的影响第140-142页
   ·退火时间对 Y_2O_3纳米薄层材料生长的影响第142-143页
   ·本章小结第143-145页
结论第145-149页
本论文的创新点第149-151页
参考文献第151-163页
攻读博士学位期间发表的论文第163-165页
致谢第165-166页

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