| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·几种常用的石英加工方法比较研究 | 第10-12页 |
| ·激光加工技术在石英刻蚀中的应用 | 第12-14页 |
| ·激光石英加工国内外研究进展 | 第14-20页 |
| ·课题来源、意义、内容、目标、创新点以及技术路线 | 第20-23页 |
| 2 实验设备、材料性质和刻蚀要求 | 第23-33页 |
| ·实验设备 | 第23-26页 |
| ·实验用紫外激光器平均功率测试 | 第26-28页 |
| ·实验材料性质 | 第28-31页 |
| ·实验材料的清洗和测量 | 第31页 |
| ·激光刻蚀要求 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 紫外激光直接刻蚀石英玻璃实验研究 | 第33-47页 |
| ·实验平台结构与实验方法 | 第33-34页 |
| ·紫外激光直接刻蚀石英玻璃阈值研究实验 | 第34-35页 |
| ·紫外激光刻蚀参数对直接刻蚀石英玻璃尺寸和质量的影响 | 第35-40页 |
| ·紫外激光直接切割薄石英片实验 | 第40-42页 |
| ·实验机理分析 | 第42-45页 |
| ·紫外激光直接刻蚀石英玻璃应用 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 激光诱导等离子体石英玻璃刻蚀实验研究 | 第47-62页 |
| ·实验平台结构与实验方法 | 第47-48页 |
| ·刻蚀参数对石英玻璃刻蚀尺寸和质量的影响规律 | 第48-57页 |
| ·实验机理分析 | 第57-60页 |
| ·激光诱导等离子体石英玻璃刻蚀应用 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 激光背部湿刻法实验研究 | 第62-66页 |
| ·实验平台结构与实验方法 | 第62-63页 |
| ·激光背部湿刻法实验结果 | 第63-64页 |
| ·实验机理分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6 激光抛光石英玻璃刻蚀面研究 | 第66-72页 |
| ·实验平台结构和实验方法 | 第66-67页 |
| ·激光石英玻璃刻蚀面抛光实验 | 第67-69页 |
| ·实验机理分析 | 第69-70页 |
| ·激光石英玻璃刻蚀面抛光应用 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 7 主要结论和建议 | 第72-74页 |
| ·主要结论 | 第72-73页 |
| ·今后工作的建议 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |