物参共路干涉显微理论和实验研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-8页
专业词语中英文对照	第8-11页
第一章 绪论	第11-37页
·显微测量技术概况	第11-14页
·显微测量技术的分类	第11-12页
·显微测量技术的比较	第12-14页
·干涉显微的现状和发展趋势	第14-24页
·干涉显微的分类	第15-19页
·干涉显微的应用	第19-21页
·干涉显微的发展趋势	第21-24页
·本论文的目的和意义	第24-27页
·论文的主要内容和安排	第27-28页
参考文献	第28-37页
第二章 相移干涉的基本原理	第37-71页
·相移干涉的基本概念	第37-41页
·相移干涉概念的提出	第37-38页
·相移干涉的基本公式	第38-39页
·相移干涉的优点	第39-41页
·相移干涉的相位再现算法	第41-50页
·解析法	第41-44页
·最小二乘法	第44-46页
·N+1平均算法	第46-50页
·相移量的数字获取	第50-56页
·理论分析	第50-53页
·数值模拟	第53-55页
·实验结果	第55-56页
·相位解包裹	第56-65页
·基于相位梯度积分的相位解包裹方法	第57-62页
·基于最小二乘法的相位解包裹方法	第62-65页
·结论和总结	第65-66页
参考文献	第66-71页
第三章 同步相移干涉原理及应用	第71-97页
·偏振相移的基本原理	第71-73页
·同步相移模块的构成	第73-78页
·基于分光棱镜的同步相移模块	第74-75页
·基于迈克尔逊光路的同步相移模块	第75-76页
·基于光栅衍射的同步相移模块	第76-78页
·同步相移在物参分离干涉显微中的应用	第78-85页
·基于同轴光路的同步相移干涉显微	第78-81页
·基于离轴光路的同步相移干涉显微	第81-85页
·同步相移在物参共路干涉显微中的应用	第85-92页
·实验装置	第86-87页
·相位再现方法	第87-89页
·实验结果及讨论	第89-92页
·结论	第92-93页
参考文献	第93-97页
第四章 相衬干涉显微	第97-116页
·相衬成像原理	第97-98页
·中心相衬干涉显微	第98-102页
·实验装置	第99-100页
·相衬干涉图的再现	第100-101页
·实验结果及讨论	第101-102页
·泽尼克相衬干涉显微	第102-105页
·实验装置	第102-103页
·优点-分辨率高且噪声低	第103-104页
·缺点--光晕现象	第104-105页
·改进的泽尼克相衬干涉显微用于相位定量测量	第105-113页
·改进光路的工作原理	第105-106页
·实验装置	第106-108页
·相衬干涉图的再现	第108-110页
·实验结果和分析	第110-113页
·结论	第113-114页
参考文献	第114-116页
第五章 基于针孔滤波的点衍射干涉显微	第116-133页
·点衍射干涉的基本原理	第116-117页
·基于偏振调制的相移点衍射干涉显微	第117-121页
·实验方法	第117-118页
·相位再现方法	第118-120页
·实验结果	第120-121页
·基于光栅衍射的离轴点衍射干涉显微	第121-124页
·实验装置及原理	第121-122页
·实验结果和分析	第122-124页
·基于光栅衍射的同轴点衍射干涉显微	第124-129页
·实验装置	第124-125页
·相位再现方法	第125-127页
·实验结果和分析	第127-129页
·结论	第129-130页
参考文献	第130-133页
第六章 总结和展望	第133-140页
参考文献	第138-140页
致谢	第140-141页
攻读博士学位期间取得的科研成果	第141-144页
攻读博士学位期间获得的荣誉	第144页