| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-41页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜的制备方法及其影响因素 | 第13-16页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜的生长和组织 | 第16-27页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜的性能及应用 | 第27-31页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜研究的趋势 | 第31-32页 |
| ·研究意义和研究内容 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-41页 |
| 第二章 实验材料和实验方法 | 第41-49页 |
| ·实验材料 | 第41页 |
| ·磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜制备及其后续处理 | 第41-44页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析 | 第44页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜表面成分和化学结合状态分析 | 第44-46页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜组织结构分析 | 第46-48页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜力学性能分析 | 第48-49页 |
| 第三章 Al-Cu-Fe薄膜表面形貌和生长机制分析 | 第49-77页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析 | 第49-63页 |
| ·溅射功率对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第49-52页 |
| ·溅射气压对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第52-54页 |
| ·基底温度对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第54-56页 |
| ·溅射偏压对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第56-57页 |
| ·基底粗糙度对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第57-60页 |
| ·溅射时间对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌的影响 | 第60-61页 |
| ·退火温度对Al-Cu-Fe薄膜表面形貌影响 | 第61-63页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜生长机制分析 | 第63-73页 |
| ·溅射时间对Al-Cu-Fe薄膜生长机制的影响 | 第63-65页 |
| ·溅射气压对Al-Cu-Fe薄膜生长机制的影响 | 第65-67页 |
| ·溅射偏压对Al-Cu-Fe薄膜生长机制的影响 | 第67-68页 |
| ·溅射功率对Al-Cu-Fe薄膜生长机制的影响 | 第68-70页 |
| ·基底特性对Al-Cu-Fe薄膜生长机制的影响 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第四章 Al-Cu-Fe薄膜成分和化学结合状态分析 | 第77-113页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜成分的分析 | 第78-86页 |
| ·溅射功率对Al-Cu-Fe薄膜成分的影响 | 第78-81页 |
| ·溅射气压对Al-Cu-Fe薄膜成分的影响 | 第81-84页 |
| ·溅射偏压对Al-Cu-Fe薄膜成分的影响 | 第84-85页 |
| ·基底温度对Al-Cu-Fe薄膜成分的影响 | 第85-86页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜化学结合状态分析 | 第86-109页 |
| ·溅射偏压对Al-Cu-Fe薄膜表面化学结合状态的影响 | 第86-91页 |
| ·基底温度对Al-Cu-Fe薄膜表面化学结合状态的影响 | 第91-95页 |
| ·溅射时间对Al-Cu-Fe薄膜表面化学结合状态的影响 | 第95-99页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜表面至基底的化学结合状态分析 | 第99-104页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜与基底界面的化学结合状态分析 | 第104-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-113页 |
| 第五章 Al-Cu-Fe薄膜组织结构分析 | 第113-149页 |
| ·引言 | 第113-114页 |
| ·共溅射参数对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第114-127页 |
| ·共溅射基底温度对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第116-120页 |
| ·共溅射功率对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第120-124页 |
| ·共溅射偏压对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第124-127页 |
| ·退火对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第127-132页 |
| ·退火温度对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第127-130页 |
| ·退火时间对Al-Cu-Fe薄膜组织结构的影响 | 第130-132页 |
| ·共溅射Al-Cu-Fe薄膜组织结构形成机理分析 | 第132-144页 |
| ·共溅射Al-Cu-Fe薄膜组织结构形成机理分析 | 第132-138页 |
| ·共溅射Al-Cu-Fe薄膜组织结构转变机理分析 | 第138-144页 |
| ·本章小结 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-149页 |
| 第六章 Al-Cu-Fe薄膜力学性能分析 | 第149-172页 |
| ·引言 | 第149-150页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜硬度和弹性模量分析 | 第150-159页 |
| ·退火对Al-Cu-Fe薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第159-161页 |
| ·Al-Cu-Fe薄膜摩擦性能和结合强度分析 | 第161-167页 |
| ·共溅射工艺对Al-Cu-Fe薄膜摩擦性能和结合强度的影响 | 第161-164页 |
| ·基底材料对Al-Cu-Fe薄膜摩擦性能和结合强度的影响 | 第164-167页 |
| ·本章小结 | 第167-168页 |
| 参考文献 | 第168-172页 |
| 第七章 结论与工作展望 | 第172-175页 |
| ·结论 | 第172-174页 |
| ·工作展望 | 第174-175页 |
| 本文创新点 | 第175-176页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第176-178页 |
| 致谢 | 第178页 |
