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离子注入SGG和CBN波导的特性研究

中文摘要第1-10页
ABSTRACT第10-13页
符号说明第13-14页
第一章 绪论第14-24页
   ·研究背景与意义第14-15页
   ·光波导的基本理论第15-19页
   ·本文的主要研究内容第19-21页
 参考文献第21-24页
第二章 波导结构的制备方法第24-30页
   ·离子注入技术第24-26页
   ·光刻技术第26-29页
 参考文献第29-30页
第三章 波导的测试分析方法第30-40页
   ·耦合技术第30-33页
   ·波导损耗的测量第33-35页
   ·数值模拟第35-38页
 参考文献第38-40页
第四章 离子注入掺钕锶钆镓氧晶体制备光波导第40-52页
   ·研究现状第41-42页
   ·实验过程及结果讨论第42-50页
   ·本章小结第50-51页
 参考文献第51-52页
第五章 离子注入钠掺杂的铌酸钙钡晶体制备平面和条形光波导第52-69页
   ·研究现状第53-54页
   ·多能量氧离子注入Na:CBN晶体制备平而和条形波导第54-61页
   ·单能量氧离子注入Na:CBN晶体制备平面光波导第61-67页
   ·本章小结第67-68页
 参考文献第68-69页
第六章 总结第69-72页
   ·主要结果第70-71页
   ·主要创新点第71-72页
致谢第72-74页
攻读硕士学位期间发表的论文及获得的奖励第74-76页
附外文论文第76-84页
学位论文评阅及答辩情况表第84页

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