| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·论文研究内容 | 第13页 |
| ·本文的结构 | 第13-15页 |
| 第二章 相关理论综述 | 第15-24页 |
| ·制造执行系统(MES)综述 | 第15-20页 |
| ·MES的定义 | 第15-16页 |
| ·MES的作用 | 第16页 |
| ·MES的发展过程 | 第16-17页 |
| ·MES标准SP95 | 第17-18页 |
| ·MES的功能模型 | 第18-20页 |
| ·MES中过程管理 | 第20-23页 |
| ·MES过程管理综述 | 第20-21页 |
| ·过程管理中的过程监视 | 第21-22页 |
| ·过程管理中的过程控制 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 基于MES平台的生产过程监控系统分析 | 第24-36页 |
| ·半导体行业研究 | 第24-26页 |
| ·半导体企业现状 | 第24-25页 |
| ·半导体行业业务流程 | 第25-26页 |
| ·需求分析 | 第26页 |
| ·半导体设备通信信息格式研究 | 第26-33页 |
| ·半导体设备通信标准综述 | 第26-31页 |
| ·半导体设备通信信息格式扩展性分析 | 第31-33页 |
| ·技术路线的选择 | 第33-35页 |
| ·系统体系结构的选择 | 第33页 |
| ·数据库的选择 | 第33页 |
| ·开发工具 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 基于MES平台的生产过程监控系统设计 | 第36-57页 |
| ·系统设计的总体目标及原则 | 第36页 |
| ·系统设计的总体目标 | 第36页 |
| ·系统设计原则 | 第36页 |
| ·系统总体结构设计 | 第36-38页 |
| ·系统各部分功能分析 | 第38-40页 |
| ·设备客户端功能分析 | 第38-39页 |
| ·服务端功能分析 | 第39页 |
| ·通信中间平台 | 第39-40页 |
| ·服务端设计 | 第40-49页 |
| ·服务端模块的划分 | 第41-44页 |
| ·服务端的数据设计 | 第44-45页 |
| ·服务端数据库设计 | 第45-49页 |
| ·客户端设计 | 第49-56页 |
| ·客户端模块划分 | 第49-52页 |
| ·客户端的数据设计 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 基于MES平台的生产过程监控系统实现与测试 | 第57-77页 |
| ·通信中间平台实现 | 第57-59页 |
| ·ACE-5.5+TAO-1.5在Solairs10上的部署 | 第57页 |
| ·CORBA接口与通信中间平台的实现 | 第57-59页 |
| ·服务端的实现 | 第59-64页 |
| ·启动模块的实现 | 第59-60页 |
| ·信息接收与信息项获取模块 | 第60-62页 |
| ·信息处理模块 | 第62-64页 |
| ·数据库管理模块实现 | 第64页 |
| ·日志管理模块实现 | 第64页 |
| ·客户端的实现 | 第64-69页 |
| ·命名解析模块的实现 | 第64-65页 |
| ·设备信息管理模块实现 | 第65-66页 |
| ·信息格式转化模块实现 | 第66-67页 |
| ·通信配置管理模块实现 | 第67-68页 |
| ·日志管理模块实现 | 第68-69页 |
| ·系统功能测试 | 第69-76页 |
| ·系统测试环境 | 第69页 |
| ·测试用例 | 第69-70页 |
| ·基本功能测试 | 第70-72页 |
| ·设备信息格式兼容性测试 | 第72-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 作者简历 | 第81-83页 |
| 学位论文数据集 | 第83页 |