| 引 言 | 第1-8页 |
| 第一章 绪 论 | 第8-14页 |
| 1．1 SOI技术简介 | 第8-10页 |
| 1．2 SOI器件/电路的性能及其应用 | 第10-14页 |
| 第二章 SOI材料制备及其性质 | 第14-18页 |
| 2．1 SOI材料制备方法简介 | 第14-17页 |
| 2．2 SOI材料的性质 | 第17-18页 |
| 第三章 CMOS/SOI技术 | 第18-38页 |
| 3．1 SOI MOSFET器件的特性 | 第18-25页 |
| 3．1．1 SOI MOSFET器件的结构类型 | 第18-20页 |
| 3．1．2 SOI MOSFET器件的特性 | 第20-25页 |
| 3．2 CMOS/SOI器件的基本结构与特征 | 第25-28页 |
| 3．2．1 CMOS/SOI的基本结构 | 第25页 |
| 3．2．2 CMOS/SOI工艺 | 第25-28页 |
| 3．2．3 CMOS/SOI器件的设计特点 | 第28页 |
| 3．3 CMOS/SOI电路中的寄生效应 | 第28-38页 |
| 3．3．1 浮体效应 | 第29-34页 |
| 3．3．2 自热和热耦合效应 | 第34-38页 |
| 第四章 SOI MOSFET器件和电路的计算机模拟 | 第38-45页 |
| 4．1 SPICE软件介绍 | 第38页 |
| 4．2 BSIM3SOI模型 | 第38-39页 |
| 4．3 参数的提取 | 第39-40页 |
| 4．4 模拟结果与分析 | 第40-45页 |
| 第五章 A/D转换器中比较器的研究 | 第45-63页 |
| 5．1 A/D、D/A转换器 | 第45-47页 |
| 5．2 比较器电路的原理和设计 | 第47-57页 |
| 5．2．1 电路图设计 | 第47-51页 |
| 5．2．2 版图设计 | 第51-57页 |
| 5．3 工艺过程 | 第57-59页 |
| 5．3．1 CMOS/SOI集成电路基本工艺规范 | 第57-58页 |
| 5．3．2 工艺过程 | 第58-59页 |
| 5．4 实验的结果的测试和分析 | 第59-63页 |
| 结束语 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |