| 第一章 研究背景与课题的提出 | 第1-33页 |
| 1．1 引言 | 第7-9页 |
| 1．2 集成式光子器件概述 | 第9-15页 |
| 1．2．1 目前阶段光子集成的主要候选材料 | 第9-11页 |
| 1．2．2 目前阶段光子集成的主要技术 | 第11-15页 |
| 1．3 集成式光子器件进展 | 第15-23页 |
| 1．3．1 多波长光源 | 第15-17页 |
| 1．3．2 WDM的实现 | 第17-19页 |
| 1．3．3 光开关列阵 | 第19-21页 |
| 1．3．4 OADM芯片 | 第21-22页 |
| 1．3．5 其他一小系统集成 | 第22-23页 |
| 1．4 本论文工作 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-33页 |
| 第二章 全内反射光开关／列阵设计 | 第33-63页 |
| 2．1 正交结构全内反射光开关列阵简介 | 第33-35页 |
| 2．2 载流子引起的折射率改变分析 | 第35-45页 |
| 2．2．1 能带填充效应 | 第35-38页 |
| 2．2．2 带隙缩小效应 | 第38-40页 |
| 2．2．3 自由载流子吸收效应 | 第40-41页 |
| 2．2．4 三种效应的迭加效果分析 | 第41-45页 |
| 2．3 正交结构TIR光开关的优化 | 第45-55页 |
| 2．3．1 弯曲连接的优化 | 第45-48页 |
| 2．3．2 非对称Y分支结构的优化 | 第48-55页 |
| 2．4 4×4光开关列阵的参数计算 | 第55-59页 |
| 2．5 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 第三章 多模干涉器集成化研究 | 第63-85页 |
| §3．1 多模干涉器的基本原理 | 第63-67页 |
| 3．1．1 多模干涉器概述 | 第63-64页 |
| 3．1．2 自映像效应 | 第64-65页 |
| 3．1．3 三层对称平板波导内的自映像效应 | 第65-67页 |
| 3．1．4 多模干涉功分器的可集成性分析 | 第67页 |
| §3．2 弱限制波导结构多模干涉功分器 | 第67-73页 |
| 3．2．1 弱限制结构的提出 | 第67-68页 |
| 3．2．2 弱限制结构的优化设计 | 第68-70页 |
| 3．2．3 优化后的弱限制结构性能评估 | 第70-73页 |
| §3．3 渐变边界波导结构多模干涉功分器 | 第73-81页 |
| 3．3．1 渐变边界结构实现多模干涉器的可行性分析 | 第73-77页 |
| 3．3．2 两个渐变边界波导结构多模干涉器例子的分析 | 第77-81页 |
| 3．3．3 三种波导结构多模干涉器评估 | 第81页 |
| §3．4 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 第四章 器件制作及测试 | 第85-92页 |
| §4．1 4×4光开关列阵材料设计及制作工艺 | 第85-88页 |
| 4．1．1 材料设计 | 第85-86页 |
| 4．1．2 TIR光开关工艺流程 | 第86-88页 |
| §4．2 测试系统简介 | 第88页 |
| §4．3 测试结果 | 第88-92页 |
| 4．3．1 光开关 | 第88-89页 |
| 4．3．2 MMI功分器 | 第89-92页 |
| 参考文献 | 第92-93页 |
| 第五章 总结 | 第93-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 附录：攻读博士期间发表的论文和申请的专利 | 第97页 |