类金刚石薄膜的制备和光学性质研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| §1.1 DLC薄膜的物理结构 | 第11-12页 |
| §1.2 含氢DLC薄膜和无氢DLC薄膜 | 第12-15页 |
| §1.3 DLC薄膜的运用前景 | 第15-16页 |
| §1.4 DLC薄膜的掺杂 | 第16-17页 |
| §1.5 本文的研究内容和目的 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 多种方法制备本征DLC薄膜 | 第20-30页 |
| §2.1 衬底材料的选择及其处理 | 第20-21页 |
| §2.2 磁控溅射制备DLC薄膜 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射设备简介 | 第21-22页 |
| ·磁控溅射制备DLC薄膜的工艺条件 | 第22-23页 |
| §2.3 多弧离子镀制备DLC薄膜 | 第23-25页 |
| ·多弧离子镀设备简介 | 第23-24页 |
| ·多弧离子镀制备DLC薄膜的工艺条件 | 第24-25页 |
| §2.4 PECVD制备DLC薄膜 | 第25-29页 |
| ·PECVD设备简介 | 第25-28页 |
| ·PECVD制备本征DLC薄膜的工艺条件 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-30页 |
| 第三章 掺杂DLC薄膜的制备 | 第30-33页 |
| §3.1 掺硼DLC薄膜的制备 | 第30-31页 |
| §3.2 掺氮DLC薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第四章 DLC薄膜的结构表征 | 第33-38页 |
| §4.1 表面平整度 | 第33-34页 |
| §4.2 硬度测试 | 第34-35页 |
| §4.3 厚度测量 | 第35-36页 |
| §4.4 俄歇能谱 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第五章 DLC薄膜的拉曼光谱 | 第38-49页 |
| §5.1 DLC薄膜的拉曼光谱简介 | 第38-39页 |
| §5.2 DLC薄膜的拉曼分析新方法 | 第39-43页 |
| §5.3 本征DLC薄膜的拉曼光谱分析 | 第43-45页 |
| §5.4 掺硼DLC薄膜的拉曼光谱 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第六章 DLC薄膜的光学性质表征 | 第49-57页 |
| §6.1 椭圆偏振仪测试薄膜折射率和消光系数 | 第49-52页 |
| §6.2 紫外-可见分光光度计测试薄膜的透射率 | 第52-53页 |
| §6.3 光学带隙的计算 | 第53-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
| 第七章 DLC薄膜的色卡计算 | 第57-67页 |
| §7.1 DLC薄膜的色彩分析 | 第57页 |
| §7.2 SIO2衬底DLC薄膜的色卡计算 | 第57-64页 |
| §7.3 SI衬底DLC薄膜的色卡计算 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
| 第八章 研究工作总结及展望 | 第67-68页 |
| 硕士期间发表论文情况 | 第68-69页 |
| 附录一 磁控溅射靶材及阳极套尺寸 | 第69-70页 |
| 附录二 多弧离子镀石墨靶材及金属套尺寸 | 第70-71页 |
| 附录三 标准荧光波谱数据 | 第71-72页 |
| 附录四 三基色波谱数据 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
