超精密测量光路中调焦位移共轴检测技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第12-13页 |
| ·微位移测量技术的研究现状 | 第13-16页 |
| ·常用的微位移测量方法 | 第13-15页 |
| ·电容式传感器的研究现状 | 第15-16页 |
| ·本课题的主要研究内容和研究方案 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 光学测量系统分析 | 第18-25页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·测量光路原理 | 第19-20页 |
| ·测量光路中的平板式电容位移传感器 | 第20-24页 |
| ·测量光路中阿贝误差 | 第20-22页 |
| ·边缘效应 | 第22-23页 |
| ·传感器电极极板加工 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电容式传感器基本原理 | 第25-44页 |
| ·电容式传感器概述 | 第25-26页 |
| ·电容式传感器工作原理 | 第26-32页 |
| ·电容式传感器的构成及各元件的作用 | 第26-27页 |
| ·电容式传感器的类型 | 第27-32页 |
| ·双等位环电容式位移传感器结构分析 | 第32-34页 |
| ·应用中存在的问题及改进措施 | 第34-42页 |
| ·等效电路 | 第34页 |
| ·边缘效应 | 第34-38页 |
| ·静电引力 | 第38-39页 |
| ·寄生电容 | 第39-41页 |
| ·温度影响 | 第41-42页 |
| ·使用电容式传感器应注意的几个问题 | 第42-43页 |
| ·工作点的选择 | 第42页 |
| ·标定 | 第42-43页 |
| ·绝缘、接地与屏蔽 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 平板式电容传感器电极MEMS工艺研究 | 第44-74页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第44-45页 |
| ·微机电系统(MEMS)工艺简介 | 第45-62页 |
| ·清洗 | 第45-48页 |
| ·氧化 | 第48-49页 |
| ·光刻 | 第49-56页 |
| ·腐蚀 | 第56-59页 |
| ·沉积 | 第59-62页 |
| ·平板式电容传感器电极的制作流程 | 第62-70页 |
| ·制作过程中的问题及其解决方法 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 电容式传感器检测电路的研究与设计 | 第74-92页 |
| ·检测电路的方案选择 | 第74-78页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·电容检测电路的分类 | 第74-78页 |
| ·检测电路的设计 | 第78-91页 |
| ·改进型的运算放大器检测法 | 第79-88页 |
| ·电容检测电路的仿真 | 第88-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 实验结果及分析 | 第92-102页 |
| ·实验系统设计及装置 | 第92-95页 |
| ·实验光路系统 | 第92-93页 |
| ·读出信号处理(信号放大电路) | 第93页 |
| ·数据采集模块 | 第93-94页 |
| ·LabVIEW计算机程序设计 | 第94-95页 |
| ·实验结果及分析 | 第95-101页 |
| ·实验测试 | 第95-98页 |
| ·实验数据分析 | 第98-100页 |
| ·实验误差分析 | 第100-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 结束语 | 第102-104页 |
| 一、结论 | 第102-103页 |
| 二、展望 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第109页 |
