| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·国内外硅片传输机器人的研究与发展现状 | 第11-18页 |
| ·国外硅片传输机器人的研究与发展现状 | 第12-17页 |
| ·国内硅片传输机器人的研究与发展现状 | 第17-18页 |
| ·国内外结构拓扑优化研究现状 | 第18-20页 |
| ·离散体结构拓扑优化 | 第18-19页 |
| ·连续体结构拓扑优化 | 第19-20页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 2 连续体结构拓扑优化方法 | 第22-36页 |
| ·连续体结构拓扑优化的数学模型 | 第22-24页 |
| ·连续体结构拓扑优化设计方法 | 第24-29页 |
| ·均匀化方法理论(Homogenization Theory) | 第24-26页 |
| ·变密度方法(Variable Density Method) | 第26-28页 |
| ·变厚度方法(Variable Thickness Method) | 第28-29页 |
| ·连续体结构拓扑优化的优化求解数值算法 | 第29-32页 |
| ·优化准则法 | 第29-31页 |
| ·数学规划法 | 第31-32页 |
| ·连续体结构拓扑优化中数值不稳定现象及解决方法 | 第32-35页 |
| ·连续体结构拓扑优化中数值不稳定现象 | 第32-33页 |
| ·消除连续体结构拓扑优化中数值不稳定现象的常用方法 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 硅片传输机器人手臂的实现 | 第36-44页 |
| ·硅片传输机器人整体方案 | 第36-37页 |
| ·硅片传输机器人手臂的运动学分析 | 第37-41页 |
| ·硅片传输机器人手臂传动模型的建立 | 第37-38页 |
| ·硅片传输机器人手臂径向直线伸缩运动分析 | 第38-40页 |
| ·硅片传输机器人手臂的运动学分析 | 第40-41页 |
| ·硅片传输机器人手臂结构的实现 | 第41-43页 |
| ·硅片传输机器人手臂结构设计 | 第41-42页 |
| ·硅片传输机器人手臂结构设计的原则 | 第42-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 4 硅片传输机器人手臂的动态特性分析 | 第44-58页 |
| ·有限元发展概述 | 第44-46页 |
| ·ANSYS概述 | 第46-49页 |
| ·ANSYS简介 | 第46页 |
| ·ANSYS的组成 | 第46-47页 |
| ·ANSYS软件主要功能特点 | 第47-48页 |
| ·ANSYS的分析过程 | 第48-49页 |
| ·硅片传输机器人手臂的有限元模型 | 第49-52页 |
| ·硅片传输机器人手臂有限元模型的建立 | 第49-50页 |
| ·硅片传输机器人手臂有限元模型单元选取和网格划分 | 第50-52页 |
| ·硅片传输机器人手臂的动态特性分析 | 第52-57页 |
| ·硅片传输机器人的动态特性 | 第52页 |
| ·模态分析的定义及其应用 | 第52-54页 |
| ·硅片传输机器人手臂的模态分析 | 第54-57页 |
| ·本章小节 | 第57-58页 |
| 5 硅片传输机器人手臂的拓扑优化设计 | 第58-71页 |
| ·拓扑优化设计流程 | 第58-61页 |
| ·拓扑优化设计流程 | 第58-60页 |
| ·ANSYS的拓扑优化方法 | 第60-61页 |
| ·硅片传输机器人大臂的拓扑优化设计 | 第61-65页 |
| ·拓扑优化设定 | 第61-63页 |
| ·拓扑优化结果分析 | 第63-65页 |
| ·硅片传输机器人小臂的拓扑优化设计 | 第65-67页 |
| ·优化前后手臂特性参数的比较 | 第67-70页 |
| ·本章小节 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 附录A 硅片传输机器人样机-Ⅰ | 第77-78页 |
| 附录B 硅片传输机器人样机-Ⅱ | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
