| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·细长金属管内表面改性研究进展 | 第8-12页 |
| ·离子束注入 | 第8-9页 |
| ·等离子体源离子注入(PSII)法 | 第9页 |
| ·强电流蒸发电离法(线爆法) | 第9-10页 |
| ·ECR等离子体源离子注入法 | 第10页 |
| ·栅极增强等离子体离子注入法 | 第10-12页 |
| ·直流辉光放电等离子体简介 | 第12-15页 |
| ·阴极区 | 第12-13页 |
| ·负辉区 | 第13页 |
| ·法拉第暗区 | 第13页 |
| ·正柱区 | 第13页 |
| ·阳极区 | 第13-15页 |
| ·等离子体发射光谱诊断 | 第15-20页 |
| ·发射光谱法原理 | 第15页 |
| ·根据谱线的相对强度计算激发温度 | 第15-16页 |
| ·根据谱线的半峰宽(FWHM)计算电子密度或离子温度 | 第16-20页 |
| ·本研究的目的和研究内容 | 第20-21页 |
| 2 细长金属管内产生的低气压下直流辉光等离子体特性 | 第21-44页 |
| ·直流辉光等离子体的伏安特性 | 第21-23页 |
| ·装置及实验概况 | 第21-22页 |
| ·伏安特性以及等离子体长度与放电电流的关系 | 第22-23页 |
| ·细长金属管内直流辉光放电等离子体发射光谱研究 | 第23-44页 |
| ·光谱的测量方法 | 第23-24页 |
| ·管内直流辉光等离子体的活性粒子谱线 | 第24-28页 |
| ·谱线强度随压强及配比的变化 | 第28-36页 |
| ·电子温度随压强及配比的变化 | 第36-41页 |
| ·分子振动温度随压强及配比的变化 | 第41-44页 |
| 3 细长金属管内表面渗氮初步研究 | 第44-49页 |
| ·前言 | 第44-45页 |
| ·实验装置与实验过程 | 第45页 |
| ·试验结果与讨论 | 第45-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |