薄膜体声波谐振器结构分析与仿真

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 绪论	第9-15页
·引言	第9-10页
·FBAR 的国内外研究进展	第10-13页
·本论文的研究内容	第13-15页
第二章 FBAR 的原理和结构	第15-27页
·FBAR 和FBAR 滤波器的原理	第15-21页
·FBAR 的结构和制备工艺	第21-27页
第三章 FBAR 中的材料及制备技术	第27-33页
·FBAR 中的材料	第27-30页
·压电薄膜的制备技术	第30-33页
第四章 FBAR 的解析阻抗模型与仿真	第33-65页
·理想的FBAR 解析阻抗模型	第33-51页
·复合的FBAR 解析阻抗模型	第51-58页
·考虑损耗的FBAR 解析阻抗模型分析	第58-62页
·FBAR 的谐振频率预测软件	第62-65页
第五章 FBAR 中的等效电路模型与仿真	第65-75页
·FBAR 的BVD 模型	第65-67页
·BVD 参数的提取	第67-69页
·FBAR 的BVD 模型仿真	第69-71页
·FBAR 滤波器的BVD 模型及仿真	第71-75页
第六章 结论	第75-76页
致谢	第76-77页
参考文献	第77-81页
附录一 FBAR 中相关材料的参数值	第81-82页
攻读硕士期间的研究成果	第82-83页