| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·MEMS概述 | 第10-13页 |
| ·MEMS的概念 | 第10-11页 |
| ·MEMS的应用 | 第11-12页 |
| ·MEMS的发展现状和前景 | 第12-13页 |
| ·生物传感器简介 | 第13-15页 |
| ·生物传感器分类 | 第13-14页 |
| ·生物传感器结构 | 第14-15页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器概述 | 第15-19页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器激励和拾振方式 | 第15-18页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器工作原理 | 第18-19页 |
| ·谐振式传感器接口电路概述 | 第19-21页 |
| ·AGC电路 | 第20-21页 |
| ·PLL电路 | 第21页 |
| ·本论文研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 谐振式微悬臂梁传感器闭环接口电路设计 | 第23-57页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器工作原理 | 第23-26页 |
| ·谐振式微悬臂梁阻尼特性分析 | 第23-24页 |
| ·谐振式微悬臂梁在外力驱动下的响应 | 第24-26页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器闭环自激条件 | 第26页 |
| ·基于锁相环的闭环接口电路设计 | 第26-35页 |
| ·谐振式传感器闭环系统介绍 | 第26-27页 |
| ·前级处理电路模块对闭环系统的影响 | 第27-35页 |
| ·锁相环电路性能研究 | 第35-49页 |
| ·锁相环电路模块分析 | 第35-44页 |
| ·PLL环路工作原理分析 | 第44-47页 |
| ·PLL电路实现方案 | 第47-49页 |
| ·传感器闭环自激谐振系统工作特性分析 | 第49-52页 |
| ·闭环系统中谐振梁特性分析 | 第49-50页 |
| ·接口电路相位变化对闭环环路的影响 | 第50-52页 |
| ·电热激励方式下的驱动电路说明 | 第52-54页 |
| ·电热激励弯曲模态谐振梁 | 第52页 |
| ·电热激励扭转模态谐振梁 | 第52-54页 |
| ·通过外接电路减小谐振梁串扰的方法 | 第54-56页 |
| ·本章小节 | 第56-57页 |
| 第三章 基于89C51单片机的8位可显示频率计设计 | 第57-66页 |
| ·等精度频率计的设计 | 第57-60页 |
| ·等精度频率计的测频原理 | 第57-59页 |
| ·频率误差分析 | 第59-60页 |
| ·8位可显示等精度频率计的硬件电路实现 | 第60-63页 |
| ·频率计硬件电路原理图 | 第60-62页 |
| ·频率计硬件电路工作原理 | 第62-63页 |
| ·频率计的软件设计 | 第63-66页 |
| 第四章 谐振式微悬臂梁生物传感器测试 | 第66-74页 |
| ·开环测试 | 第66-69页 |
| ·网络分析仪(Network Analyzer)HP4935A的开环测试原理 | 第66-67页 |
| ·谐振式微悬臂梁生物传感器的开环测试结果 | 第67-69页 |
| ·闭环测试 | 第69-71页 |
| ·闭环系统频率稳定度测量 | 第69-70页 |
| ·谐振式微悬臂梁传感器的生物敏感特性测量 | 第70页 |
| ·闭环Q值测量 | 第70-71页 |
| ·用哈达玛方差(Hadamard Variance)进行数据处理 | 第71-74页 |
| 第五章 总结和展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第80页 |
| 个人简历 | 第80-81页 |
