基于悬臂梁及抗体—微磁球技术的生化免疫传感器的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·MEMS | 第7-9页 |
| ·MEMS 概念 | 第7-8页 |
| ·MEMS 研究内容与应用 | 第8-9页 |
| ·生物传感器 | 第9-11页 |
| ·生物传感器概念 | 第9-10页 |
| ·生物传感器的分类 | 第10-11页 |
| ·基于MEMS 的微悬臂梁生物传感器 | 第11页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第11-13页 |
| ·选题依据 | 第11-12页 |
| ·研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 压阻式微悬臂梁生物传感器的工作原理 | 第13-23页 |
| ·待检测的生物样品特性 | 第13-17页 |
| ·抗原与抗体的特异性结合 | 第14-15页 |
| ·磁球的制备 | 第15-17页 |
| ·半导体的压阻效应 | 第17-20页 |
| ·压阻系数的计算 | 第17-18页 |
| ·单晶硅的压阻系数 | 第18-20页 |
| ·测量电路 | 第20-21页 |
| ·微悬臂梁式生物传感器的工作原理 | 第21-23页 |
| 第三章 压阻式微悬臂梁生物传感器的设计与优化 | 第23-44页 |
| ·悬臂梁的力学结构设计与优化 | 第23-32页 |
| ·微悬臂梁结构的选取 | 第23-25页 |
| ·微悬臂梁结构的力学分析 | 第25-27页 |
| ·微悬臂梁生物传感器的灵敏度 | 第27-28页 |
| ·微悬臂梁生物传感器的噪声 | 第28-30页 |
| ·微悬臂梁的最小感应力 | 第30页 |
| ·压阻的掺杂浓度 | 第30-31页 |
| ·悬臂梁的设计参数 | 第31页 |
| ·微悬臂梁参数的优化 | 第31-32页 |
| ·微悬臂梁电感线圈的设计与优化 | 第32-38页 |
| ·微电感线圈的选取 | 第33-34页 |
| ·电感线圈磁场分析与优化 | 第34-38页 |
| ·电感线圈优化的磁球因素 | 第38页 |
| ·对试验结果的MONTE CARLO 模拟 | 第38-44页 |
| ·基本原理 | 第39-40页 |
| ·计算模型 | 第40-41页 |
| ·结果和分析 | 第41-44页 |
| ·模拟结果 | 第41-43页 |
| ·结果分析 | 第43-44页 |
| 第四章 压阻式微悬臂梁生物传感器的工艺流程 | 第44-53页 |
| ·工艺流程的要点及难点 | 第44页 |
| ·微悬臂梁生物传感器的制作 | 第44-48页 |
| ·基于单晶硅制作的工艺流程 | 第44-46页 |
| ·基于SOI 制作的工艺流程 | 第46-47页 |
| ·两种流程结果的比较 | 第47-48页 |
| ·悬臂梁生物传感器的版图 | 第48-52页 |
| ·悬臂梁生物传感器的制版说明与工艺要求 | 第52-53页 |
| ·制版说明 | 第52页 |
| ·工艺要求 | 第52-53页 |
| 第五章 基于微流体芯片的悬浮微块技术 | 第53-63页 |
| ·多功能悬浮式点阵技术基本原理 | 第53-57页 |
| ·微球及标记 | 第53-54页 |
| ·探针分子的固定 | 第54页 |
| ·液相芯片的测量原理 | 第54-57页 |
| ·液相芯片的优点和缺点 | 第57页 |
| ·悬浮微块 | 第57-63页 |
| ·悬浮微块结构 | 第57-59页 |
| ·自主设计的悬浮微块 | 第59-63页 |
| 第六章 总结 | 第63-65页 |
| 附录一 | 第65-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
