相移干涉微表面形貌检测仪的数据处理与实验研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-19页
·微表面形貌检测的测量方法	第8-11页
·微表面形貌检测的非光学测量方法	第8-9页
·微表面形貌检测的光学测量方法	第9-11页
·干涉法测量中的相位测量方法	第11-14页
·时间相移法	第12-13页
·空间相移法	第13-14页
·国外形貌检测仪的发展现状	第14-15页
·光学干涉法表面形貌测量的研究热点和方向	第15-17页
·测量对象的扩展	第16页
·深度测量范围的扩展	第16-17页
·本文的主要研究工作与各章主要内容	第17-19页
第二章 相移干涉仪整体结构	第19-28页
·相移干涉仪的总体结构	第19页
·相移干涉仪的光学系统	第19-24页
·光学干涉成像部分	第20-21页
·光源及照明部分	第21-24页
·相移干涉仪的微位移控制系统	第24-27页
·相移干涉仪的图像采集系统	第27页
·图像传感器CCD	第27页
·图像采集卡	第27页
·本章小结	第27-28页
第三章 干涉图像的改善与预处理	第28-40页
·在实验条件下的各种误差	第28-29页
·对干涉图像质量的实验改善	第29-33页
·光路均衡性的改善	第29-30页
·光源的选择	第30-33页
·对干涉图的去噪处理	第33-39页
·图像去噪的方法	第33-36页
·去噪结果对比	第36-37页
·本文提出的去除大灰尘点的方法	第37-39页
·本章小结	第39-40页
第四章 相位提取算法研究	第40-57页
·相移干涉法的基本原理	第40-42页
·传统相位提取算法	第42-43页
·传统相位提取算法精度分析	第43-46页
·相移器线性误差	第43-44页
·探测器二次非线性相应	第44-45页
·光强信号的非正弦性	第45-46页
·改进相位提取算法	第46-48页
·线性相移误差不敏感四步算法	第46-47页
·光强信号二次谐波效应不敏感六步算法	第47-48页
·不同相位提取算法之间的比较	第48-56页
·对光纤连接器端面的处理结果对比	第48-54页
·对标准台阶面的处理结果的对比	第54-56页
·本章小结	第56-57页
第五章 相位解包裹算法研究	第57-73页
·相位解包裹原理	第57-58页
·相位解包裹的理想算法与噪声相位解包裹	第58-60页
·路径跟踪解包裹算法	第60-65页
·基于相位参考阈值的相位解包裹算法	第60-61页
·基于一维离散余弦变换的相位解包裹算法	第61-62页
·基于插值拟合的去除解包裹图拉线的算法	第62-65页
·路径无关解包裹算法	第65-67页
·相位解包裹算法实验效果对比	第67-72页
·本章小结	第72-73页
第六章 实验及测量精度分析	第73-94页
·粗糙度样板的测量	第73-80页
·最小二乘中线	第73-74页
·轮廓算数平均偏差	第74页
·取样长度	第74页
·粗糙度的测量步骤及软件流程图	第74-75页
·实验结果	第75-80页
·光纤连接器端面的测量	第80-87页
·光纤连接器的物理参数	第80-81页
·光纤连接器参数的测量原理	第81-83页
·测量流程及软件界面	第83-86页
·实验结果	第86-87页
·标准台阶的测量	第87-91页
·被测面倾斜的软件调平	第87-88页
·台阶高度测量的软件界面	第88页
·实验结果	第88-91页
·对比实验	第91-93页
·本章小结	第93-94页
第七章 总结与展望	第94-96页
论文完成的主要工作	第94页
工作展望与计划	第94-96页
参考文献	第96-101页
攻读硕士学位期间的科研成果与发表的学术论文	第101-102页
致谢	第102页