| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·微结构的发展概况 | 第7-9页 |
| ·精密测试技术与微结构测试技术 | 第9-13页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第13-15页 |
| 第二章 电子散斑测试技术 | 第15-26页 |
| ·散斑的物理特性 | 第15-17页 |
| ·散斑计量技术 | 第17-22页 |
| ·ESPI 显微干涉结构 | 第22-26页 |
| 第三章 干涉条纹图的分析方法 | 第26-40页 |
| ·干涉条纹图 | 第26-28页 |
| ·条纹图像处理技术 | 第28-29页 |
| ·时间相移干涉技术 | 第29-33页 |
| ·相位信息处理技术 | 第33-38页 |
| ·散斑条纹图的处理 | 第38-40页 |
| 第四章 微结构的 ESPI 测试系统 | 第40-48页 |
| ·照明模块 | 第41-43页 |
| ·成像和图像采集模块 | 第43-45页 |
| ·相移装置和压电陶瓷 | 第45-48页 |
| 第五章 实验及其分析 | 第48-67页 |
| ·系统评价实验 | 第48-59页 |
| ·微结构形貌测试实验 | 第59-63页 |
| ·散斑干涉法测量实验 | 第63-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及参与的科研项目 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |