微型化数字式电容测微仪的研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·技术背景 | 第7-8页 |
| ·电容测微仪研究现状 | 第8-9页 |
| ·电容测微仪发展趋势 | 第9-10页 |
| ·微型化仪器的一般设计要点 | 第10-11页 |
| ·集成电路的广泛应用 | 第10-11页 |
| ·硬件电路的软件化和虚拟仪器技术 | 第11页 |
| ·本论文主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 电容测微仪原理及设计要点简介 | 第13-19页 |
| ·传统电容测微仪原理简介 | 第13-15页 |
| ·电容测微仪主要性能 | 第15-16页 |
| ·静态灵敏度 | 第15-16页 |
| ·非线性 | 第16页 |
| ·电容传感器设计要点 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 微型化数字式电容测微仪的设计 | 第19-38页 |
| ·电容测微仪总体设计 | 第19-20页 |
| ·新型电容传感器设计 | 第20-28页 |
| ·电容测量芯片 | 第20-22页 |
| ·电源芯片 | 第22-23页 |
| ·机械设计 | 第23-28页 |
| ·测微仪主控电路的设计 | 第28-32页 |
| ·主控单片机的选择 | 第29-30页 |
| ·与计算机通讯接口设计 | 第30-32页 |
| ·I~2C总线硬件设计 | 第32页 |
| ·主控单元软件设计 | 第32-36页 |
| ·软件总体设计 | 第32-34页 |
| ·I~2C 软件模拟 | 第34-35页 |
| ·电容值到距离值计算程序 | 第35-36页 |
| ·计算机软件设计 | 第36-37页 |
| ·本章小节 | 第37-38页 |
| 第四章 传感器标定和数据处理 | 第38-52页 |
| ·双频激光干涉仪比对机构 | 第38-41页 |
| ·PT-1001B 双频激光测长仪 | 第39-40页 |
| ·电容测微仪标定机构机械设计 | 第40-41页 |
| ·传感器标定 | 第41-51页 |
| ·原始数据的获取 | 第41-43页 |
| ·最小二乘法曲线拟合的原理 | 第43-44页 |
| ·使用MATLAB 进行曲线拟合 | 第44-48页 |
| ·曲线的分段拟合 | 第48-51页 |
| ·本章小节 | 第51-52页 |
| 第五章 实验和误差分析 | 第52-59页 |
| ·重复性实验 | 第52页 |
| ·稳定性实验及误差分析 | 第52-55页 |
| ·线性度测试实验与误差分析 | 第55-56页 |
| ·标定误差分析 | 第56-57页 |
| ·其它误差分析 | 第57-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-62页 |
| ·工作总结 | 第59-60页 |
| ·课题展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
