| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题来源、目的和意义 | 第7页 |
| ·可靠性技术国内外研究状况 | 第7-11页 |
| ·主要研究工作 | 第11页 |
| ·论文的章节安排 | 第11-13页 |
| 2 可靠性理论基础 | 第13-22页 |
| ·可靠性基本概念 | 第13-16页 |
| ·可靠性评估常用方法 | 第16-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 3 激光硅片切割机的结构与工作原理 | 第22-28页 |
| ·激光硅片切割机的作用与结构 | 第22-23页 |
| ·激光硅片切割机的工作原理 | 第23-27页 |
| ·激光硅片切割机的可靠性需求分析 | 第27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 4 FMEA可靠性分析方法 | 第28-37页 |
| ·基于零部件的FMEA在激光硅片切割机中的实施策略 | 第28-30页 |
| ·FMEA评估标准及防范措施 | 第30-34页 |
| ·FMEA在激光切割机设计中的实施效果 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 5 激光硅片切割机故障树分析 | 第37-55页 |
| ·故障树的基本概念 | 第37-41页 |
| ·建立激光硅片切割机故障树 | 第41-45页 |
| ·故障树的定量分析 | 第45-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第61页 |