计算机控制确定性研抛的建模与仿真
摘要 | 第1-10页 |
ABSTRACT | 第10-11页 |
第一章 绪论 | 第11-18页 |
·课题来源和意义 | 第11-12页 |
·课题的来源 | 第11页 |
·课题研究的背景和意义 | 第11-12页 |
·计算机控制光学零件表面成形技术 | 第12-14页 |
·CCOS技术的发展和应用现状 | 第14-17页 |
·论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
第二章 CCOS技术中去除函数的建模和特性研究 | 第18-32页 |
·Preston假设和理想去除函数特性 | 第18-21页 |
·Preston假设 | 第18-19页 |
·理想去除函数的特性 | 第19-21页 |
·圆形模盘去除函数建模和特性分析 | 第21-26页 |
·圆形模盘去除函数建模和实验验证 | 第21-24页 |
·圆形模盘去除函数的特性分析 | 第24-26页 |
·复杂形状模盘去除函数的建模和特性分析 | 第26-31页 |
·复杂形状模盘的去除函数的建模和实验验证 | 第26-30页 |
·复杂形状模盘去除函数的特性分析 | 第30-31页 |
·本章小结 | 第31-32页 |
第三章 边缘效应下的去除函数建模 | 第32-41页 |
·抛光模露边时的压力分布 | 第32-35页 |
·边缘效应下的去除函数建模 | 第35-40页 |
·理论建模 | 第35-37页 |
·仿真结果和实验验证 | 第37-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
第四章 CCOS技术中工艺参数分析 | 第41-56页 |
·各工艺参数对抛光效率的影响 | 第41-48页 |
·检测设备 | 第41页 |
·各工艺参数对抛光效率的影响 | 第41-48页 |
·各工艺参数对去除函数稳定性的影响 | 第48-52页 |
·实验方法 | 第48-50页 |
·实验结果分析 | 第50-52页 |
·抛光工艺总结 | 第52-54页 |
·本章小结 | 第54-56页 |
第五章 总结和展望 | 第56-59页 |
·全文总结 | 第56-57页 |
·展望 | 第57-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-63页 |
作者在学期间取得的学术成果 | 第63页 |