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计算机控制确定性研抛的建模与仿真

摘要第1-10页
ABSTRACT第10-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·课题来源和意义第11-12页
     ·课题的来源第11页
     ·课题研究的背景和意义第11-12页
   ·计算机控制光学零件表面成形技术第12-14页
   ·CCOS技术的发展和应用现状第14-17页
   ·论文的主要研究内容第17-18页
第二章 CCOS技术中去除函数的建模和特性研究第18-32页
   ·Preston假设和理想去除函数特性第18-21页
     ·Preston假设第18-19页
     ·理想去除函数的特性第19-21页
   ·圆形模盘去除函数建模和特性分析第21-26页
     ·圆形模盘去除函数建模和实验验证第21-24页
     ·圆形模盘去除函数的特性分析第24-26页
   ·复杂形状模盘去除函数的建模和特性分析第26-31页
     ·复杂形状模盘的去除函数的建模和实验验证第26-30页
     ·复杂形状模盘去除函数的特性分析第30-31页
   ·本章小结第31-32页
第三章 边缘效应下的去除函数建模第32-41页
   ·抛光模露边时的压力分布第32-35页
   ·边缘效应下的去除函数建模第35-40页
     ·理论建模第35-37页
     ·仿真结果和实验验证第37-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 CCOS技术中工艺参数分析第41-56页
   ·各工艺参数对抛光效率的影响第41-48页
     ·检测设备第41页
     ·各工艺参数对抛光效率的影响第41-48页
   ·各工艺参数对去除函数稳定性的影响第48-52页
     ·实验方法第48-50页
     ·实验结果分析第50-52页
   ·抛光工艺总结第52-54页
   ·本章小结第54-56页
第五章 总结和展望第56-59页
   ·全文总结第56-57页
   ·展望第57-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-63页
作者在学期间取得的学术成果第63页

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