KBA X射线显微镜的像差及成像质量分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1．1 引言 | 第8-9页 |
| 1．2 掠入射X射线成像系统 | 第9-12页 |
| 1．2．1 KB结构 | 第10-11页 |
| 1．2．2 Wolter系统 | 第11-12页 |
| 1．3 本文选题背景及意义 | 第12-14页 |
| 2 KBA显微镜原理 | 第14-23页 |
| 2．1 KBA显微镜结构 | 第14-15页 |
| 2．2 双镜结构的作用 | 第15-19页 |
| 2．2．1 单球面反射镜成像特性 | 第15-16页 |
| 2．2．2 双镜的成像特性 | 第16-19页 |
| 2．3 掠入射角的选取 | 第19-23页 |
| 2．3．1 掠入射角对反射率的影响 | 第20-21页 |
| 2．3．2 消像散考虑 | 第21-23页 |
| 3 KBA显微镜像差分析 | 第23-31页 |
| 3．1 光路计算 | 第23-26页 |
| 3．1．1 共轴球面折射系统光路计算 | 第23-25页 |
| 3．1．2 KBA显微镜光路计算 | 第25-26页 |
| 3．2 像散 | 第26-27页 |
| 3．3 视场倾斜 | 第27-28页 |
| 3．4 球差 | 第28-29页 |
| 3．5 慧差 | 第29-31页 |
| 4 KBA显微镜成像质量评价 | 第31-39页 |
| 4．1 点列图分析 | 第31-35页 |
| 4．2 调制传递函数分析 | 第35-39页 |
| 5 KBA显微镜系统参数误差分析 | 第39-49页 |
| 5．1 KBA显微镜系统参数对成像的影响 | 第39-47页 |
| 5．1．1 物距对成像的影响 | 第40-42页 |
| 5．1．2 离焦对成像的影响 | 第42页 |
| 5．1．3 曲率半径对成像质量的影响 | 第42-44页 |
| 5．1．4 双镜夹角对成像质量的影响 | 第44-46页 |
| 5．1．5 掠入射角对成像的影响 | 第46-47页 |
| 5．2 公差 | 第47页 |
| 5．3 小结 | 第47-49页 |
| 6 总结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第55页 |
