声表面波加速度计的闭环方案研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章 绪论	第7-12页
·加速度计	第7-8页
·声表面波加速度计及其应用前景	第8-9页
·声表面波加速度计的国内外研究水平与发展现状	第9-10页
·本论文所作的工作	第10-12页
第二章 声表面波原理及器件	第12-25页
·声表面波原理	第12-16页
·声表面波器件	第16-22页
·声表面波振荡器(SAWO)	第22-25页
第三章 声表面波加速度计	第25-32页
·声表面波谐振式加速度计的组成	第25-26页
·SAW加速度计的工作原理	第26-28页
·声表面波加速度计灵敏系数的推导	第28-32页
第四章 声表面波加速度计闭环反馈技术	第32-40页
·反馈力技术类型	第32-36页
·力矩发生器	第36-40页
第五章 声表面波加速度计磁电式力反馈闭环方案	第40-60页
·有静差磁电式模拟力反馈闭环方案	第40-48页
·无静差磁电式模拟力反馈平衡方案	第48-50页
·磁电式断续脉冲力反馈闭环方案	第50-56页
·磁电式二元调宽脉冲力反馈闭环方案	第56-60页
第六章 声表面波加速度计静电式力反馈闭环方案	第60-88页
·静电式模拟力反馈闭环方案	第60-62页
·静电式二元脉冲宽度调制力反馈方案的引出	第62-65页
·有静差脉宽调制静电力式闭环方案	第65-70页
·无静差二元脉冲调宽静电力闭环方案	第70-88页
总结	第88-90页
致谢	第90-91页
参考文献	第91-94页