低温等离子体朗缪探针诊断电路研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·低温等离子体及其在工业中的应用 | 第10-11页 |
| ·等离子体诊断的必要性 | 第11页 |
| ·低温等离子体诊断技术概述 | 第11-14页 |
| ·静电探针法 | 第11-12页 |
| ·光谱分析法 | 第12-13页 |
| ·微波透射法 | 第13-14页 |
| ·几种诊断方法的比较 | 第14页 |
| ·存在问题与本文研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 朗缪探针诊断电路 | 第16-36页 |
| ·朗缪探针诊断原理 | 第16-19页 |
| ·朗缪探针适用范围 | 第16页 |
| ·朗缪探针理论的基本前提 | 第16页 |
| ·朗缪探针原理 | 第16-18页 |
| ·由V/I特性曲线获取等离子体参数 | 第18-19页 |
| ·传统朗缪探针电路及其优缺点 | 第19-23页 |
| ·基于Keithley617静电计的探针电路 | 第20页 |
| ·基于计算机声卡的探针电路 | 第20-21页 |
| ·基于数据采集卡的探针电路 | 第21-22页 |
| ·基于Labview软件及相关硬件的探针电路 | 第22-23页 |
| ·改进的朗缪探针诊断电路方案 | 第23-35页 |
| ·朗缪探针锯齿波信号发生器 | 第24-31页 |
| ·功率放大器电路 | 第31-33页 |
| ·朗缪探针电流电压检测电路 | 第33-34页 |
| ·朗缪探针电路总体方案 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 朗缪探针及探针数据采集模块 | 第36-55页 |
| ·朗缪探针结构 | 第36-42页 |
| ·朗缪探针的射频补偿设计 | 第36-41页 |
| ·朗缪探针实现方案 | 第41-42页 |
| ·朗缪探针数据采集模块 | 第42-54页 |
| ·研华PCL-818HG数据采集卡 | 第42-51页 |
| ·探针电路的连接方式 | 第51-54页 |
| ·数据采集软件 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 低温等离子体朗缪探针诊断实验 | 第55-62页 |
| ·实验设备 | 第55-58页 |
| ·RF-500型真空镀膜机简介 | 第55-56页 |
| ·真空镀膜机的朗缪探针诊断系统 | 第56-58页 |
| ·实验结果及其分析 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
