微纳米测量环境控制机理及系统研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 致谢 | 第12-21页 |
| 第一章 绪论 | 第21-36页 |
| ·微纳米测量环境控制机理研究的目的与意义 | 第21-22页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第22页 |
| ·国内外研究现状与动态 | 第22-34页 |
| ·本研究的关键技术 | 第34-36页 |
| 第二章 环境控制箱的结构设计与分析 | 第36-67页 |
| ·环境控制箱设计分析基础 | 第36-46页 |
| ·CFD 技术与仿真软件FLUENT | 第36-37页 |
| ·环境控制箱气流的组织形式 | 第37-38页 |
| ·半导体制冷（TEC）基本原理 | 第38-40页 |
| ·环境控制箱体的绝热、冷负荷及送风量计算 | 第40-44页 |
| ·环境控制箱气流组织及均匀温度场的CFD 模型 | 第44-46页 |
| ·三腔组合式环境控制箱设计与仿真 | 第46-57页 |
| ·半导体制冷片冷量传递与制冷强化 | 第47-50页 |
| ·恒温腔恒温流场与温度场的CFD 分析 | 第50-57页 |
| ·环境控制箱体结构的改进与仿真分析 | 第57-67页 |
| ·环境控制箱结构的改进 | 第57-61页 |
| ·恒温腔内无热源仿真分析 | 第61页 |
| ·有热源仿真分析 | 第61-67页 |
| 第三章 环境控制箱建模与控制算法研究 | 第67-95页 |
| ·数学模型建立的基本原理 | 第67-68页 |
| ·系统辨识基础 | 第67-68页 |
| ·建立系统数学模型的基本方法 | 第68页 |
| ·环境控制箱数学模型的建立 | 第68-71页 |
| ·环境控制箱温度控制算法设计 | 第71-83页 |
| ·模拟PID 控制原理 | 第71-72页 |
| ·PID 控制器的参数整定方法 | 第72-74页 |
| ·PID 控制的Matlab 仿真 | 第74-78页 |
| ·数字PID 控制原理 | 第78-79页 |
| ·极点配置自校正PID 控制器 | 第79-83页 |
| ·环境控制箱模糊控制算法设计 | 第83-89页 |
| ·模糊控制概述 | 第83页 |
| ·模糊控制系统的基本结构 | 第83-85页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第85-89页 |
| ·模糊PID 控制 | 第89-94页 |
| ·仿真实验小结 | 第94-95页 |
| 第四章 环境控制箱温度测控系统设计 | 第95-121页 |
| ·环境控制箱测控系统总体设计 | 第95-96页 |
| ·环境控制箱温度测控系统硬件设计 | 第96-111页 |
| ·温度传感器的选择 | 第96-97页 |
| ·铂电阻测量原理及测试电路设计 | 第97-99页 |
| ·温度传感器的标定 | 第99-103页 |
| ·多路温度采集系统 | 第103-106页 |
| ·高精度温度采集单元 | 第106-108页 |
| ·半导体制冷片和程控电源的选择 | 第108-111页 |
| ·风机和变频器系统 | 第111页 |
| ·环境控制箱温度测控系统软件设计 | 第111-121页 |
| ·软件总体设计 | 第111-115页 |
| ·温度传感器的非线性修正 | 第115-119页 |
| ·其它相关程序设计 | 第119-121页 |
| 第五章 环境控制箱隔振系统设计与分析 | 第121-140页 |
| ·振动被动隔离技术的基本原理 | 第121-125页 |
| ·微纳米测量的被动隔振系统设计 | 第125-132页 |
| ·被动隔振系统的整体结构 | 第125-127页 |
| ·被动隔振器件的选择 | 第127-128页 |
| ·制冷腔隔振分析 | 第128-130页 |
| ·测量工作台隔振系统分析 | 第130-132页 |
| ·测振系统的设计及被动隔振系统隔振性能测试与分析 | 第132-140页 |
| ·振动传感器的选择 | 第132-134页 |
| ·振动传感器信号的采集及分析 | 第134-140页 |
| 第六章 环境控制箱实验测试分析 | 第140-149页 |
| ·环境控制箱特性局部实验 | 第140-146页 |
| ·温度综合控制实验 | 第146-147页 |
| ·系统误差分析 | 第147-149页 |
| 第七章 总结与展望 | 第149-152页 |
| ·总结 | 第149-150页 |
| ·本论文的创新点 | 第150页 |
| ·研究工作展望 | 第150-152页 |
| 参考文献 | 第152-160页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第160页 |
