| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·论文提出背景及意义 | 第9-10页 |
| ·超声换能器概述 | 第10-14页 |
| ·超声换能器分类及主要性能指标 | 第11-14页 |
| ·影响超声换能器精度的主要因数分析 | 第14页 |
| ·高精度超声换能器相关技术的国内外研究进展 | 第14-19页 |
| ·压电材料技术 | 第14-16页 |
| ·超声换能器的建模与设计 | 第16-17页 |
| ·加工与装配技术 | 第17-18页 |
| ·系统测试与标定技术 | 第18-19页 |
| ·论文研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 6.5MHz 超声换能器设计与制造 | 第21-31页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·超声换能器设计介绍 | 第21-24页 |
| ·压电材料 | 第21-23页 |
| ·换能器外壳 | 第23-24页 |
| ·基于磁控溅射法压电晶片镀膜加工 | 第24-29页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第24-26页 |
| ·实验装置与条件 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射镀膜工艺特性 | 第27-29页 |
| ·超声换能器装配技术 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 6.5MHz 计量型超声换能器电学匹配 | 第31-41页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·超声换能器电学匹配基本原理 | 第31-35页 |
| ·超声换能器匹配电路设计 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 6.5MHz 超声换能器功率测量与不确定度评定 | 第41-58页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·测量原理 | 第41-44页 |
| ·测量系统与装置 | 第44-47页 |
| ·误差源分析 | 第47-50页 |
| ·不确定度评定 | 第50-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 试验及结果分析 | 第58-74页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·试验过程 | 第58-62页 |
| ·试验数据分析 | 第62-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论与进一步研究展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录 | 第80页 |