| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·射频等离子体的研究意义及研究背景 | 第7-8页 |
| ·离子能量和角度分布以及电子碰撞率的研究意义 | 第8-10页 |
| ·本文创新性 | 第10页 |
| 2 理论模型 | 第10-22页 |
| ·数值模拟 | 第10-11页 |
| ·物理模型的建立及其特点 | 第11-13页 |
| ·PIC/MCC 模拟方法 | 第13-22页 |
| 3 模拟结果与分析 | 第22-44页 |
| ·离子（N~+, N_2~+）在驱动电极处的能量分布 | 第22-28页 |
| ·离子（N~+, N_2~+）在驱动电极处的入射角度的分布 | 第28-32页 |
| ·电子碰撞率 | 第32-42页 |
| ·电子的能量几率分布与实验结果的比较 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-50页 |
| 致谢 | 第50页 |