| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 纯离子轰击诱导自组织纳米结构简述 | 第12-19页 |
| 1.2.1 Bradley-Harper模型的提出 | 第12-15页 |
| 1.2.2 Bradley-Harper模型的修正 | 第15-16页 |
| 1.2.3 Carter-Vishnyakov效应与质量再分布理论的提出 | 第16-18页 |
| 1.2.4 Crater函数理论的提出 | 第18-19页 |
| 1.3 杂质共沉积下离子束诱导自组织纳米结构的研究 | 第19-26页 |
| 1.3.1 共沉积影响的发现 | 第19-20页 |
| 1.3.2 杂质浓度理论时期 | 第20-22页 |
| 1.3.3 几何因素理论时期 | 第22-25页 |
| 1.3.4 目前研究的不足 | 第25-26页 |
| 1.4 课题的提出和研究内容 | 第26-27页 |
| 1.5 论文的结构安排 | 第27页 |
| 1.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第二章 包含杂质共沉积的离子束诱导实验的变量控制与参数优化 | 第29-47页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 实验准备与变量控制 | 第29-34页 |
| 2.2.1 设备选用和调试 | 第29-32页 |
| 2.2.2 真空室本底杂质的影响与控制 | 第32-33页 |
| 2.2.3 基底温度的影响与控制 | 第33-34页 |
| 2.3 离子束共沉积实验的参数优选 | 第34-40页 |
| 2.3.1 基底与杂质材料的选择 | 第34-35页 |
| 2.3.2 离子束参数的选择 | 第35-39页 |
| 2.3.3 实验几何参数的选择 | 第39-40页 |
| 2.4 离子束共沉积溅射过程的TRIDYN仿真 | 第40-45页 |
| 2.4.1 杂质靶溅射过程仿真 | 第40-43页 |
| 2.4.2 基底沉积和溅射仿真 | 第43-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 自组织纳米结构随离子束入射角和时间的演化规律 | 第47-63页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 石英表面自组织纳米结构随离子入射束角度的演化 | 第47-52页 |
| 3.2.1 实验过程 | 第47-49页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第49-52页 |
| 3.3 石英表面自组织纳米结构随刻蚀时间的演化 | 第52-54页 |
| 3.3.1 实验过程 | 第52页 |
| 3.3.2 实验结果 | 第52-54页 |
| 3.4 结果讨论 | 第54-62页 |
| 3.4.1 杂质共沉积的振幅放大作用 | 第54-55页 |
| 3.4.2 阴影效应和相分离效应 | 第55-58页 |
| 3.4.3 误差问题的处理 | 第58-60页 |
| 3.4.4 对工艺设计的启示 | 第60-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 自组织纳米结构随离杂质靶距离的演化规律 | 第63-85页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 石英表面自组织纳米结构的距离演化 | 第63-67页 |
| 4.2.1 实验过程 | 第63页 |
| 4.2.2 实验结果 | 第63-67页 |
| 4.3 硅表面自组织纳米结构的距离演化 | 第67-70页 |
| 4.3.1 实验过程 | 第67页 |
| 4.3.2 实验结果 | 第67-70页 |
| 4.4 结果讨论 | 第70-84页 |
| 4.4.1 沉积边缘区的特殊现象 | 第70-77页 |
| 4.4.2 硅与石英溅射性质的差异 | 第77-79页 |
| 4.4.3 结构两侧的刻面差异现象 | 第79-82页 |
| 4.4.4 对工艺设计的启示 | 第82-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 第五章 包含杂质共沉积的离子束诱导实验中的其他问题 | 第85-95页 |
| 5.1 引言 | 第85页 |
| 5.2 金和铁的共沉积实验 | 第85-90页 |
| 5.2.1 金杂质共沉积实验 | 第85-87页 |
| 5.2.2 铁杂质共沉积实验 | 第87-89页 |
| 5.2.3 结果讨论 | 第89-90页 |
| 5.3 杂质靶倾角对自组织结构的影响 | 第90-94页 |
| 5.3.1 实验过程 | 第90页 |
| 5.3.2 实验结果 | 第90-93页 |
| 5.3.3 结果讨论 | 第93-94页 |
| 5.4 本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 自组织纳米结构透射光学特性的初步研究 | 第95-105页 |
| 6.1 引言 | 第95页 |
| 6.2 用于光学特性表征样品的制作 | 第95-97页 |
| 6.3 自组织纳米结构的光学特性仿真 | 第97-101页 |
| 6.4 自组织纳米结构光学特性的初步测试 | 第101-104页 |
| 6.5 本章小结 | 第104-105页 |
| 第七章 总结与展望 | 第105-109页 |
| 7.1 论文的工作总结 | 第105页 |
| 7.2 论文的主要创新点 | 第105-106页 |
| 7.3 工作展望 | 第106-109页 |
| 参考文献 | 第109-113页 |
| 致谢 | 第113-115页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第115页 |
