| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 引言 | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景和工作意义 | 第8-10页 |
| 1.2 本文的主要工作 | 第10-12页 |
| 2 预备知识 | 第12-20页 |
| 2.1 CMP和晶圆划痕 | 第12-16页 |
| 2.1.1 CMP平整化的必要性 | 第12-14页 |
| 2.1.2 CMP基本原理 | 第14-15页 |
| 2.1.3 晶圆划痕 | 第15-16页 |
| 2.2 图像处理 | 第16-19页 |
| 2.2.1 二值化 | 第16-17页 |
| 2.2.2 骨架化 | 第17-19页 |
| 2.3 K-NN算法 | 第19-20页 |
| 3 构建匹配模型 | 第20-25页 |
| 3.1 二值化、骨架化获取主线 | 第20-21页 |
| 3.2 K-NN算法匹配主线 | 第21-23页 |
| 3.3 模式识别和匹配算法 | 第23-25页 |
| 4 基于K-NN算法的晶圆划痕智能匹配 | 第25-33页 |
| 4.1 坐标旋转 | 第25-27页 |
| 4.2 基于K-NN算法的晶圆划痕智能匹配算法 | 第27-30页 |
| 4.3 实验 | 第30-33页 |
| 结论 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-37页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第37-38页 |
| 致谢 | 第38-40页 |