| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 硅晶片切片技术 | 第11-13页 |
| 1.3 国内外内圆切片机的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 机械结构的多目标优化 | 第14-18页 |
| 1.4.1 机械结构优化方面与趋势 | 第14-15页 |
| 1.4.2 机械结构优化的建模方法 | 第15-16页 |
| 1.4.3 响应面法的理论与应用 | 第16-17页 |
| 1.4.4 NSGA-Ⅱ遗传算法 | 第17-18页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 四柱式八工位高效内圆切片机的结构设计 | 第20-36页 |
| 2.1 四柱式八工位高效内圆切片机的切片方案 | 第20-22页 |
| 2.2 内圆切片机张紧刀盘的设计 | 第22-23页 |
| 2.2.1 内圆刀片的张紧方式 | 第22-23页 |
| 2.2.2 内圆刀片机械张紧刀盘的结构模型 | 第23页 |
| 2.3 内圆切片机总体结构布置方案 | 第23-27页 |
| 2.3.1 卧式结构内圆切片机 | 第23-24页 |
| 2.3.2 立式结构内圆切片机 | 第24-25页 |
| 2.3.3 床身方案总结 | 第25-26页 |
| 2.3.4 气弹簧特点及参数选择 | 第26-27页 |
| 2.4 内圆切片机主轴系统的设计 | 第27-30页 |
| 2.4.1 主轴支撑结构配置 | 第27-28页 |
| 2.4.2 主轴驱动方式 | 第28页 |
| 2.4.3 切割主轴芯轴参数设计 | 第28-30页 |
| 2.4.4 切割主轴系统的结构方案 | 第30页 |
| 2.5 内圆切片机进料系统的设计 | 第30-34页 |
| 2.5.1 八头同步齿轮箱 | 第31-32页 |
| 2.5.2 切片进料装置 | 第32页 |
| 2.5.3 切割进料悬臂受力分析 | 第32-33页 |
| 2.5.4 升降进给装置 | 第33-34页 |
| 2.5.5 进料系统的结构方案 | 第34页 |
| 2.6 四柱式八工位高效内圆切片机的三维模型 | 第34-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 四柱式八工位高效内圆切片机床身的优化 | 第36-50页 |
| 3.1 内圆切片机床身的模态分析 | 第36-38页 |
| 3.1.1 床身有限元模型 | 第36页 |
| 3.1.2 床身有限元模型的参数设置 | 第36-37页 |
| 3.1.3 床身模态分析及结果 | 第37-38页 |
| 3.2 机床床身的多目标优化 | 第38-49页 |
| 3.2.1 优化目标及优化参数选择 | 第38-39页 |
| 3.2.2 机床床身多目标优化方案及流程 | 第39-40页 |
| 3.2.3 构建床身首阶固有频率的响应面模型 | 第40-42页 |
| 3.2.4 床身优化响应面模型的可靠性分析 | 第42-44页 |
| 3.2.5 NSGA-Ⅱ算法流程与代码 | 第44-48页 |
| 3.2.6 优化结果分析 | 第48-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 张紧内圆刀片的有限元分析 | 第50-62页 |
| 4.1 机械张紧内圆刀片的力学模型分析 | 第50-52页 |
| 4.2 机械张紧内圆刀片力学模型的有限元仿真 | 第52-53页 |
| 4.3 内圆刀片在垂直载荷作用下的变形仿真分析 | 第53-56页 |
| 4.3.1 同垂直载荷不同张紧拉力下内圆刀片的变形仿真 | 第53-55页 |
| 4.3.2 同张紧拉力不同垂直载荷下内圆刀片的变形仿真 | 第55页 |
| 4.3.3 同垂直载荷和张紧拉力下不同半径处内圆刀片的变形仿真 | 第55-56页 |
| 4.4 非均匀张紧下内圆刀片变形情况的仿真分析 | 第56-61页 |
| 4.4.1 内圆刀片机械张紧装置仿真模型参数设置 | 第56-57页 |
| 4.4.2 不同数量的张紧螺栓对内圆刀片变形的影响 | 第57-58页 |
| 4.4.3 非均匀预紧下张紧螺栓对内圆刀片变形的影响 | 第58-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 内圆刀片张紧程度测量装置的设计 | 第62-70页 |
| 5.1 内圆刀片张紧程度的测量方案 | 第62-63页 |
| 5.1.1 径向张紧程度测量方案 | 第62页 |
| 5.1.2 垂直张紧程度测量方案 | 第62-63页 |
| 5.1.3 测量方案比较 | 第63页 |
| 5.2 张紧程度测量装置 | 第63-66页 |
| 5.2.1 位移传感器 | 第63-64页 |
| 5.2.2 数据采集卡 | 第64-65页 |
| 5.2.3 垂直张紧测量装置结构 | 第65页 |
| 5.2.4 张紧测量上位机程序 | 第65-66页 |
| 5.3 张紧程度测量装置的试验测试 | 第66-68页 |
| 5.3.1 不同载荷下内圆刀片变形量的测量结果 | 第66-67页 |
| 5.3.2 不同半径处内圆刀片变形量的测量结果 | 第67页 |
| 5.3.3 实验数据与仿真数据对比分析 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70页 |
| 6.2 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第77页 |
