| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 石英振梁加速度计国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 石英振梁加速度计国外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 石英振梁加速度计国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 加速度计实现自检功能的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 加速度计实现自检功能的国外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 加速度计实现自检功能的国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第17页 |
| 1.5 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 石英振梁加速度计的设计 | 第18-40页 |
| 2.1 石英晶体的特性 | 第18-21页 |
| 2.1.1 石英晶体的各向异性 | 第18页 |
| 2.1.2 石英晶体的压电特性 | 第18-19页 |
| 2.1.3 石英晶体的切型选择 | 第19-21页 |
| 2.2 石英振梁加速度计的基本原理 | 第21-26页 |
| 2.2.1 石英振梁加速度计的理论分析 | 第21-24页 |
| 2.2.2 石英振梁加速度计的等效电路参数 | 第24-26页 |
| 2.3 石英振梁加速度计的设计 | 第26-30页 |
| 2.3.1 石英振梁加速度计结构优化理论分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 石英振梁加速度计结构优化仿真分析 | 第28-30页 |
| 2.4 石英谐振梁激励电极的设计 | 第30-35页 |
| 2.4.1 石英谐振梁的理论分析 | 第30-33页 |
| 2.4.2 石英谐振梁的ANSYS仿真 | 第33-35页 |
| 2.5 石英振梁加速度计的加工工艺 | 第35-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 自检模块的设计 | 第40-50页 |
| 3.1 自检功能的基本原理 | 第40-43页 |
| 3.1.1 静电驱动的基本原理 | 第41-43页 |
| 3.2 自检功能的实现 | 第43-46页 |
| 3.2.1 自检模块的理论分析 | 第43-44页 |
| 3.2.2 自检模块的ANSYS仿真 | 第44-46页 |
| 3.3 自检模块的制作与装配 | 第46-49页 |
| 3.3.1 静电极板的加工工艺 | 第46-47页 |
| 3.3.2 装配与封装 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 敏感元件的性能测试和分析优化 | 第50-58页 |
| 4.1 键合工艺的验证 | 第50-52页 |
| 4.2 空气中敏感元件谐振特性测试 | 第52-54页 |
| 4.3 封装后敏感元件谐振特性测试 | 第54-55页 |
| 4.4 测试结果分析与讨论 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 具有自检功能的石英振梁加速度计系统性能测试 | 第58-64页 |
| 5.1 传感模态系统性能测试 | 第58-61页 |
| 5.1.1 标度因数测试 | 第58-60页 |
| 5.1.2 偏值测量 | 第60-61页 |
| 5.2 自检模态说明 | 第61-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |