波导栅型复合探测机理及其位敏结构研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展分析 | 第9-14页 |
| 1.3 存在的问题及解决方案 | 第14-15页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 复合波导栅型结构模型研究 | 第17-30页 |
| 2.1 电子倍增原理 | 第17-20页 |
| 2.2 离子反馈原理 | 第20-22页 |
| 2.3 复合波导栅型结构设计 | 第22-24页 |
| 2.4 绝缘膜制备工艺分析 | 第24-25页 |
| 2.5 电子弥散程度的影响因素分析 | 第25-27页 |
| 2.6 电子光学传递函数分析 | 第27-29页 |
| 2.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 复合式波导栅型工艺研究 | 第30-40页 |
| 3.1 工艺流程 | 第30-31页 |
| 3.2 绝缘膜制备 | 第31-33页 |
| 3.3 复合式栅极薄膜的制备 | 第33-36页 |
| 3.4 结构设计及封装 | 第36-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 原理性实验及器件性能分析 | 第40-48页 |
| 4.1 波导栅型微结构系统参数测试 | 第40-41页 |
| 4.2 栅极电子调制分流原理性测试 | 第41-42页 |
| 4.3 系统检测动态范围测试 | 第42-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结和展望 | 第48-50页 |
| 5.1 全文总结 | 第48-49页 |
| 5.2 本文创新点 | 第49页 |
| 5.3 工作展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第54页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第54页 |
| 攻读硕士学位期间所获的奖励证书 | 第54页 |
