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基于电阻测量的高通量实验方法开发与应用

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第12-24页
    1.1 材料研发困境第12-13页
    1.2 组合材料学的出现和发展第13-15页
    1.3 材料的高通量制备第15-17页
        1.3.1 分立模板方法第15-16页
        1.3.2 连续模板方法第16页
        1.3.3 无模板共沉积方法第16-17页
    1.4 高通量表征测试第17-22页
        1.4.1 高通量成分测试和结构表征第17-18页
        1.4.2 高通量电磁学性质表征第18-19页
        1.4.3 高通量光学性质测试第19页
        1.4.4 高通量力学测试第19-21页
        1.4.5 高通量电化学测试第21-22页
    1.5 电阻测试的优势第22页
    1.6 论文组织架构第22-24页
第二章 高通量扫描四探针电阻测试系统设计第24-32页
    2.1 两探针与四探针电阻测量原理比较第24-25页
    2.2 四探针电阻率测量方法及薄膜方块电阻的计算第25-28页
    2.3 高通量扫描四探针电阻测试系统构成第28-29页
    2.4 电阻扫描测试方法第29-31页
    2.5 本章小结第31-32页
第三章 高通量扫描四探针技术应用: 快速筛选金属玻璃第32-45页
    3.1 金属玻璃概述第32-33页
    3.2 金属玻璃的制备工艺第33页
    3.3 金属玻璃的性能和应用第33-34页
    3.4 玻璃形成能力概述第34-35页
    3.5 高通量电阻测量方法应用于金属玻璃的筛选第35-43页
        3.5.1 实验方法第35-36页
        3.5.2 结果与讨论第36-43页
    3.6 本章小结第43-45页
第四章 高通量扫描四探针技术应用:玻璃形成能力的筛选第45-61页
    4.1 玻璃形成能力实验判据第45-48页
    4.2 实验方法第48-52页
        4.2.1 样品制备、成分测试及电阻测试第48-49页
        4.2.2 高真空热处理第49-51页
        4.2.3 并行扫描纳米量热技术第51-52页
    4.3 结果与讨论第52-60页
    4.4 本章小结第60-61页
第五章 变温电阻传感器设计、制备及应用第61-85页
    5.1 电阻随温度变化关系在材料研究中的应用第61-62页
    5.2 变温电阻传感器的几何形状设计和器件结构设计第62-63页
        5.2.1 传感器几何形状设计第62页
        5.2.2 器件结构设计及材料选择第62-63页
    5.3 温度特性仿真计算第63-66页
    5.4 测试系统第66-67页
    5.5 制备工艺第67-70页
        5.5.1 基底清洗第67页
        5.5.2 涂胶第67-68页
        5.5.3 光刻及显影第68页
        5.5.4 样品沉积及剥离第68-69页
        5.5.5 氮化硅保护层沉积第69-70页
    5.6 温度标定第70-73页
    5.7 变温电阻传感器的应用第73-83页
    5.8 局限性第83页
    5.9 本章小结第83-85页
第六章 合金前体制备高结晶度铜锡硫薄膜第85-93页
    6.1 铜锡硫化合物的研究现状概述第85页
    6.2 实验与表征方法第85-86页
        6.2.1 样品制备第85-86页
        6.2.2 表征第86页
    6.3 结果与讨论第86-92页
    6.4 本章小结第92-93页
第七章 结论与展望第93-95页
    7.1 本课题所取得的成果第93-94页
    7.2 本课题所开发的技术和方法的应用扩展及后续工作展望第94-95页
致谢第95-96页
参考文献第96-108页
附录第108-112页
攻读博士学位期间取得的成果第112-113页

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