| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-37页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 微机电系统的结构与特点 | 第11-15页 |
| 1.3 微机电系统的发展 | 第15-17页 |
| 1.4 微执行器的发展 | 第17-20页 |
| 1.5 平行板式微执行器的力学性能 | 第20-29页 |
| 1.5.1 平行板式微执行器静电力的计算 | 第20-24页 |
| 1.5.2 平行板式微执行器吸合效应研究 | 第24-29页 |
| 1.6 微机电中执行器与阻尼器动力学特性研究进展 | 第29-31页 |
| 1.6.1 执行器动力学特性的研究进展 | 第29-30页 |
| 1.6.2 阻尼器的功能与研究进展 | 第30-31页 |
| 1.7 数值计算方法—多尺度法 | 第31-34页 |
| 1.8 本文的主要工作及论文结构安排 | 第34-37页 |
| 第二章 静电驱动下微执行器的动力学特性研究 | 第37-49页 |
| 2.1 控制方程 | 第37-43页 |
| 2.2 算例分析 | 第43-48页 |
| 2.3 结论 | 第48-49页 |
| 第三章 计及边缘效应的静电微执行器的pull-in现象 | 第49-59页 |
| 3.1 边缘效应理论 | 第49-51页 |
| 3.2 控制方程 | 第51-52页 |
| 3.3 算例分析 | 第52-56页 |
| 3.3.1 不同直流电压参数下系统的幅频特性曲线 | 第52-54页 |
| 3.3.2 不同交流电压参数下系统的幅频特性曲线 | 第54-56页 |
| 3.4 不同极板尺寸下系统的幅频特性曲线 | 第56-58页 |
| 3.5 结论 | 第58-59页 |
| 第四章 静电激励下微型阻尼器的力学特性研究 | 第59-75页 |
| 4.1 静电激励下微型调谐质量阻尼器(TMD)的模型 | 第59-61页 |
| 4.2 控制方程 | 第61-62页 |
| 4.3 多自由度系统运动方程的计算 | 第62-70页 |
| 4.4 算例分析 | 第70-72页 |
| 4.5 结论 | 第72-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 结论 | 第75-76页 |
| 5.2 展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 附录 A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第85页 |