| 作者简介 | 第6-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| abstract | 第10-11页 |
| 第一章 引言 | 第15-37页 |
| 1.1 钻石的结构、性质及其应用 | 第15-17页 |
| 1.2 人造钻石的制备方法 | 第17-18页 |
| 1.3 CVD钻石的生长原理 | 第18-21页 |
| 1.4 CVD法合成单晶钻石的研究现状 | 第21-34页 |
| 1.5 本论文主要研究内容及意义 | 第34-37页 |
| 第二章 实验设备及测试方法 | 第37-46页 |
| 2.1 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备 | 第37-38页 |
| 2.2 结晶质量测试 | 第38-40页 |
| 2.3 表面形貌测试 | 第40-42页 |
| 2.4 结构缺陷测试 | 第42-45页 |
| 2.5 其它测试方法 | 第45-46页 |
| 第三章 种晶对CVD钻石生长质量的影响 | 第46-65页 |
| 3.1 种晶的质量评定 | 第46-55页 |
| 3.2 种晶类型对CVD钻石生长质量的影响 | 第55-64页 |
| 3.3 小结 | 第64-65页 |
| 第四章 实验参数对CVD钻石生长质量的影响 | 第65-113页 |
| 4.1 甲烷浓度 | 第65-82页 |
| 4.2 温度 | 第82-94页 |
| 4.3 压强 | 第94-103页 |
| 4.4 多晶钻石生长对结晶习性的指示 | 第103-111页 |
| 4.5 小结 | 第111-113页 |
| 第五章 MPCVD法合成单晶钻石的工艺探索 | 第113-163页 |
| 5.1 基座形态对CVD钻石生长的影响 | 第113-121页 |
| 5.2 氮气浓度对CVD钻石生长的影响 | 第121-137页 |
| 5.3 种晶边部的结晶取向及形态对CVD钻石生长的影响 | 第137-147页 |
| 5.4 重复生长技术及大单晶钻石的生长实验 | 第147-161页 |
| 5.5 小结 | 第161-163页 |
| 第六章 CVD钻石生长机制的探讨及对天然钻石生长的启示 | 第163-179页 |
| 6.1 CVD钻石生长模式及其部分影响因素探讨 | 第163-169页 |
| 6.2 氮元素促进钻石(100)晶面生长的作用机制 | 第169-172页 |
| 6.3 CVD钻石对天然钻石生长的启示 | 第172-178页 |
| 6.4 小结 | 第178-179页 |
| 第七章 结论与展望 | 第179-183页 |
| 7.1 结论 | 第179-181页 |
| 7.2 研究工作中的不足与未来的展望 | 第181-183页 |
| 致谢 | 第183-185页 |
| 参考文献 | 第185-199页 |
