面向微位移传感器的环形谐振腔设计、加工及特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·国际环形谐振腔相关研究 | 第12-14页 |
| ·国内环形谐振腔相关研究 | 第14-15页 |
| ·本人主要研究工作和结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 环形谐振腔微位移传感器结构设计 | 第17-25页 |
| ·环形谐振腔微位移传感器结构与工作原理 | 第17-20页 |
| ·环形谐振腔微位移传感器基本结构 | 第17页 |
| ·传感机理 | 第17-20页 |
| ·环形谐振腔微位移传感器材料选择 | 第20-21页 |
| ·谐振腔类型选择 | 第21-22页 |
| ·微位移传感器灵敏度分析 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 环形谐振腔基本理论分析 | 第25-32页 |
| ·环形谐振腔理论模型和谐振条件 | 第25-28页 |
| ·环形谐振腔与光波导耦合理论模型 | 第25-27页 |
| ·环形谐振腔的谐振条件 | 第27-28页 |
| ·环形谐振腔主要性能指标 | 第28-31页 |
| ·谐振波长λ_m | 第28页 |
| ·谐振频率Δ_f | 第28-29页 |
| ·自由频谱宽度FSR | 第29页 |
| ·谐振峰半高全宽D_n | 第29页 |
| ·精细度F | 第29-30页 |
| ·品质因子Q | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 环形谐振腔耦合系统光学性能数值仿真 | 第32-47页 |
| ·时域有限差分方法（FDTD）仿真体系 | 第32-37页 |
| ·Fullwave 模块仿真 | 第32-35页 |
| ·OptiFDTD 模块仿真 | 第35-37页 |
| ·光束传播法(BPM)仿真体系 | 第37-39页 |
| ·傍轴BPM 的基本原理 | 第38页 |
| ·BPM 对光波导的仿真模拟 | 第38-39页 |
| ·环形谐振腔耦合系统重要参数数值仿真分析 | 第39-46页 |
| ·直波导截面光场分布与波导宽度 | 第39-41页 |
| ·弯曲波导模式与环形谐振腔弯曲半径 | 第41-43页 |
| ·环形谐振腔有效折射率 | 第43-45页 |
| ·环形谐振腔与直波导耦合距离与耦合长度分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 环形谐振腔版图加工与性能测试 | 第47-64页 |
| ·环形谐振腔版图设计 | 第47-48页 |
| ·芯片加工与形貌测试 | 第48-53页 |
| ·SOI 硅片制备 | 第48页 |
| ·环形谐振腔关键制造工艺 | 第48-51页 |
| ·芯片表面粗糙度测试 | 第51-53页 |
| ·环形谐振腔光学特性测试 | 第53-63页 |
| ·锥形光纤光制备与参数特性研究 | 第53-57页 |
| ·环形谐振腔光学特性测试平台搭建与改进 | 第57-61页 |
| ·测试实验过程和测试结果 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-67页 |
| ·研究工作总结 | 第64-65页 |
| ·本论文特色 | 第65页 |
| ·工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
