| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外的研究现状和发展趋势 | 第12-14页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 微带天线理论基础 | 第16-30页 |
| 2.1 微带天线的基本参数 | 第16-17页 |
| 2.2 微带天线的分析方法 | 第17-24页 |
| 2.2.1 传输线模型法 | 第17-19页 |
| 2.2.2 空腔模型法 | 第19-24页 |
| 2.2.2.1 内场 | 第19-24页 |
| 2.3 匹配网络阻抗匹配原理 | 第24-28页 |
| 2.3.1 四分之一波长阻抗匹配法 | 第25-26页 |
| 2.3.2 短截线匹配法 | 第26-28页 |
| 2.3.2.1 串联支节调配器 | 第26-28页 |
| 2.4 功率分配器设计 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Ku波段高阻硅基底阵列式微带天线设计与仿真 | 第30-47页 |
| 3.1 介质基板的选择、结构设计与仿真 | 第30-33页 |
| 3.1.1 介质基板的选择 | 第30-31页 |
| 3.1.2 介质基板结构设计 | 第31-32页 |
| 3.1.3 基底材料不同的仿真结果及优劣分析 | 第32-33页 |
| 3.2 辐射单元和馈电方式的设计与仿真 | 第33-39页 |
| 3.2.1 矩形贴片辐射单元长宽的选取 | 第33-35页 |
| 3.2.2 矩形贴片圆极化设计 | 第35-36页 |
| 3.2.3 圆形贴片设计及其较矩形贴片性能的优劣分析 | 第36-39页 |
| 3.2.4 微带天线的馈电方式设计 | 第39页 |
| 3.3 馈电网络与阻抗匹配设计与仿真 | 第39-42页 |
| 3.3.1 匹配网络与阻抗匹配设计 | 第39-41页 |
| 3.3.2 不同方案的仿真结果及优劣分析 | 第41-42页 |
| 3.4 微带天线的阵列与封装设计 | 第42-43页 |
| 3.4.1 微带天线阵列数量与阵列形式 | 第42页 |
| 3.4.2 功分器设计 | 第42-43页 |
| 3.4.3 封装连接器SMA的选择 | 第43页 |
| 3.5 基于高阻硅基底的Ku波段阵列式微带天线的总体仿真 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 Ku波段阵列式微带天线加工工艺研究 | 第47-62页 |
| 4.1 微带天线加工工艺流程 | 第47页 |
| 4.2 微带天线电镀与溅射工艺 | 第47-49页 |
| 4.2.1 微带天线电镀与溅射薄膜制作流程 | 第47-48页 |
| 4.2.2 实施方案 | 第48-49页 |
| 4.2.2.1 溅射材料及工艺参数选择 | 第48页 |
| 4.2.2.2 电镀中镀层厚度与电流的关系 | 第48-49页 |
| 4.3 微带天线刻蚀工艺 | 第49-57页 |
| 4.3.1 等离子矩形空腔刻蚀及其平整度控制 | 第49-57页 |
| 4.3.1.1 低/高阻硅片刻蚀试验 | 第49-50页 |
| 4.3.1.2 刻蚀厚度控制及刻蚀平整度要求的提出 | 第50-56页 |
| 4.3.1.3 刻蚀中遇到的问题 | 第56页 |
| 4.3.1.4 研究结果分析与主要结论 | 第56-57页 |
| 4.4 微带天线阵列式切割工艺 | 第57-59页 |
| 4.4.1 实施方案 | 第57-59页 |
| 4.4.1.1 贴片放置方向确定 | 第58页 |
| 4.4.1.2 贴膜选择 | 第58页 |
| 4.4.1.3 主轴转速选择的试验 | 第58页 |
| 4.4.1.4 结构单元间距的确定 | 第58-59页 |
| 4.5 微带天线封装工艺 | 第59-61页 |
| 4.5.1 实施方案 | 第59-61页 |
| 4.5.1.1 封装材料选择 | 第59-60页 |
| 4.5.1.2 粘结方式的选择 | 第60页 |
| 4.5.1.3 结构形式 | 第60页 |
| 4.5.1.4 研究结果分析与主要结论 | 第60-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 Ku波段阵列式微带天线性能测试 | 第62-68页 |
| 5.1 Ku波段阵列式微带线驻波比测试 | 第62-65页 |
| 5.1.1 测试设备及环境 | 第62页 |
| 5.1.2 Ku波段阵列式微带天线测试结果 | 第62-65页 |
| 5.1.2.1 编号1天线驻波比测试 | 第62-63页 |
| 5.1.2.2 编号2天线驻波比测试 | 第63页 |
| 5.1.2.3 编号3线驻波比测试 | 第63-64页 |
| 5.1.2.4 Ku波段阵列式微带天线测试问题及总结 | 第64-65页 |
| 5.2 Ku波段阵列式微带天线功率测试 | 第65-67页 |
| 5.2.1 测试设备及步骤 | 第65-66页 |
| 5.2.1.1 测试设备 | 第65页 |
| 5.2.1.2 实验步骤 | 第65-66页 |
| 5.2.2 Ku波段阵列式微带天线功率测试结果 | 第66-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 6.1 总结 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第73-74页 |
