快速超精密宏微运动驱动方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 宏微运动平台技术的发展概况 | 第9-10页 |
| 1.3 宏微运动驱动技术的发展概况 | 第10-13页 |
| 1.3.1 永磁同步电机控制理论概况 | 第10-11页 |
| 1.3.2 脉宽调制技术概况 | 第11-12页 |
| 1.3.3 死区补偿方法概况 | 第12页 |
| 1.3.4 音圈电机驱动方法概况 | 第12-13页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 宏微运动驱动方法 | 第15-39页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 宏动电机驱动方法 | 第15-34页 |
| 2.2.1 永磁同步直线电机工作原理 | 第15-16页 |
| 2.2.2 永磁同步电机的磁场定向控制 | 第16-19页 |
| 2.2.3 空间矢量调制技术 | 第19-23页 |
| 2.2.4 双刷新死区补偿法 | 第23-26页 |
| 2.2.5 永磁同步电机驱动系统建模与仿真 | 第26-34页 |
| 2.3 微动电机驱动方法 | 第34-38页 |
| 2.3.1 音圈电机工作原理 | 第34-36页 |
| 2.3.2 音圈电机的线性驱动方案 | 第36-37页 |
| 2.3.3 音圈电机驱动系统建模与仿真 | 第37-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 宏微驱动方法的软硬件实现 | 第39-49页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 双刷新死区补偿法软件设计 | 第39-42页 |
| 3.2.1 PWM 产生原理 | 第39-40页 |
| 3.2.2 双刷新补偿法的实现 | 第40-42页 |
| 3.3 音圈电机全线性驱动电路设计 | 第42-48页 |
| 3.3.1 电路模型仿真 | 第42-45页 |
| 3.3.2 全线性驱动电路设计 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 实验与分析 | 第49-58页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 双刷新死区补偿实验 | 第49-53页 |
| 4.2.1 实验系统介绍 | 第49-50页 |
| 4.2.2 电流开环死区补偿实验 | 第50-51页 |
| 4.2.3 电流闭环死区补偿实验 | 第51-53页 |
| 4.3 音圈电机全线性驱动实验 | 第53-57页 |
| 4.3.1 实验系统介绍 | 第53-54页 |
| 4.3.2 电流环对比实验 | 第54-57页 |
| 4.3.3 电流环带宽测定 | 第57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
