摘要 | 第6-8页 |
ABSTRACT | 第8-9页 |
第一章 绪论 | 第12-22页 |
1.1 侧向光伏效应概述 | 第12-14页 |
1.2 侧向光伏效应的应用 | 第14-17页 |
1.2.1 位移传感器的应用 | 第14-16页 |
1.2.2 光学转轴编码器 | 第16-17页 |
1.3 双极性电阻效应概述 | 第17-18页 |
1.4 双极性电阻效应的应用 | 第18-19页 |
1.5 氧化亚铜薄膜的应用 | 第19-21页 |
1.6 本论文的主要内容 | 第21-22页 |
第二章 侧向光伏效应及双极性电阻效应的理论 | 第22-35页 |
2.1 PN 结中的侧向光伏理论 | 第22-25页 |
2.2 金属-(氧化物-)半导体结构中的侧向光伏理论 | 第25-28页 |
2.3 侧向光伏中的 Dember 效应 | 第28-30页 |
2.4 侧向光伏中的热效应理论 | 第30页 |
2.5 双极性电阻效应理论 | 第30-33页 |
2.6 本章小结 | 第33-35页 |
第三章 样品制备及其分析与测试方法 | 第35-43页 |
3.1 衬底清洗 | 第35-36页 |
3.2 薄膜制备 | 第36-38页 |
3.2.1 直流磁控溅射 | 第36-38页 |
3.2.2 沉积率测量 | 第38页 |
3.3 形貌与组分分析 | 第38-40页 |
3.3.1 原子力显微镜 | 第39页 |
3.3.2 X 射线衍射仪(XRD) | 第39-40页 |
3.4 Cu_2O/Si 结构的制备、结构分析和测量 | 第40-42页 |
3.5 本章小结 | 第42-43页 |
第四章 Cu_2O/Si 结构中的侧向光伏效应 | 第43-59页 |
4.1 侧向光伏效应的各项表征参数 | 第43-44页 |
4.2 Cu_2O/Si 结构的侧向光伏效应 | 第44-54页 |
4.2.1 能带结构和伏安特性 | 第44-46页 |
4.2.2 Cu_2O/Si 结构的四种侧向光伏模式 | 第46-49页 |
4.2.3 Cu_2O 薄膜厚度对侧向光伏的影响 | 第49-52页 |
4.2.4 测量电极间距对侧向光伏的影响 | 第52-54页 |
4.3 Cu_2O/Si 结构作为近红外探测器的应用 | 第54-57页 |
4.4 本章小结 | 第57-59页 |
第五章 Cu_2O/Si 结构中偏压增强侧向光伏效应 | 第59-66页 |
5.1 偏压增强的侧向光伏现象 | 第59-62页 |
5.2 偏压增强的侧向光伏原理 | 第62-64页 |
5.3 本章小结 | 第64-66页 |
第六章 Cu_2O/Si 结构中的双极性电阻效应 | 第66-71页 |
6.1 双极性电阻效应 | 第66-68页 |
6.2 薄膜厚度与电极间距对电阻效应的影响 | 第68页 |
6.3 激光功率对电阻效应的影响 | 第68-70页 |
6.4 本章小结 | 第70-71页 |
第七章 总结与展望 | 第71-74页 |
7.1 本论文工作总结 | 第71-72页 |
7.2 未来工作展望 | 第72-74页 |
参考文献 | 第74-79页 |
致谢 | 第79-80页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80页 |