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侧向光伏效应和双极性电阻效应在Cu2O/Si结构中的研究

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
第一章 绪论第12-22页
    1.1 侧向光伏效应概述第12-14页
    1.2 侧向光伏效应的应用第14-17页
        1.2.1 位移传感器的应用第14-16页
        1.2.2 光学转轴编码器第16-17页
    1.3 双极性电阻效应概述第17-18页
    1.4 双极性电阻效应的应用第18-19页
    1.5 氧化亚铜薄膜的应用第19-21页
    1.6 本论文的主要内容第21-22页
第二章 侧向光伏效应及双极性电阻效应的理论第22-35页
    2.1 PN 结中的侧向光伏理论第22-25页
    2.2 金属-(氧化物-)半导体结构中的侧向光伏理论第25-28页
    2.3 侧向光伏中的 Dember 效应第28-30页
    2.4 侧向光伏中的热效应理论第30页
    2.5 双极性电阻效应理论第30-33页
    2.6 本章小结第33-35页
第三章 样品制备及其分析与测试方法第35-43页
    3.1 衬底清洗第35-36页
    3.2 薄膜制备第36-38页
        3.2.1 直流磁控溅射第36-38页
        3.2.2 沉积率测量第38页
    3.3 形貌与组分分析第38-40页
        3.3.1 原子力显微镜第39页
        3.3.2 X 射线衍射仪(XRD)第39-40页
    3.4 Cu_2O/Si 结构的制备、结构分析和测量第40-42页
    3.5 本章小结第42-43页
第四章 Cu_2O/Si 结构中的侧向光伏效应第43-59页
    4.1 侧向光伏效应的各项表征参数第43-44页
    4.2 Cu_2O/Si 结构的侧向光伏效应第44-54页
        4.2.1 能带结构和伏安特性第44-46页
        4.2.2 Cu_2O/Si 结构的四种侧向光伏模式第46-49页
        4.2.3 Cu_2O 薄膜厚度对侧向光伏的影响第49-52页
        4.2.4 测量电极间距对侧向光伏的影响第52-54页
    4.3 Cu_2O/Si 结构作为近红外探测器的应用第54-57页
    4.4 本章小结第57-59页
第五章 Cu_2O/Si 结构中偏压增强侧向光伏效应第59-66页
    5.1 偏压增强的侧向光伏现象第59-62页
    5.2 偏压增强的侧向光伏原理第62-64页
    5.3 本章小结第64-66页
第六章 Cu_2O/Si 结构中的双极性电阻效应第66-71页
    6.1 双极性电阻效应第66-68页
    6.2 薄膜厚度与电极间距对电阻效应的影响第68页
    6.3 激光功率对电阻效应的影响第68-70页
    6.4 本章小结第70-71页
第七章 总结与展望第71-74页
    7.1 本论文工作总结第71-72页
    7.2 未来工作展望第72-74页
参考文献第74-79页
致谢第79-80页
攻读硕士学位期间发表的论文第80页

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