基于纳米薄膜的卷曲微弹簧研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-25页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 卷曲纳米技术 | 第7-12页 |
| 1.2.1 纳米薄膜的制备 | 第8-9页 |
| 1.2.2 纳米薄膜的图形化 | 第9-10页 |
| 1.2.3 牺牲层的选择性刻蚀 | 第10-12页 |
| 1.3 内应力来源 | 第12-15页 |
| 1.3.1 单晶半导体薄膜的卷曲 | 第12-13页 |
| 1.3.2 多晶/非晶薄膜的卷曲 | 第13-14页 |
| 1.3.3 高分子薄膜的卷曲 | 第14-15页 |
| 1.4 薄膜卷曲微结构的应用 | 第15-20页 |
| 1.4.1 微马达 | 第15-17页 |
| 1.4.2 光学谐振腔 | 第17-19页 |
| 1.4.3 细胞培养支架 | 第19-20页 |
| 1.4.4 其他应用 | 第20页 |
| 1.5 微纳弹簧的研究 | 第20-24页 |
| 1.5.1 “Bottom-Up”制备微纳弹簧 | 第20-21页 |
| 1.5.2 “Top-Down”制备微纳弹簧 | 第21-22页 |
| 1.5.3 卷曲纳米技术制备微弹簧 | 第22-24页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第24-25页 |
| 第二章 金属微弹簧的可控制备 | 第25-34页 |
| 2.1 引言 | 第25-26页 |
| 2.2 制备流程 | 第26-27页 |
| 2.2.1 PMMA牺牲层的制备 | 第26页 |
| 2.2.2 Ti纳米薄膜的制备及其图形化 | 第26-27页 |
| 2.2.3 Ti纳米薄膜的释放 | 第27页 |
| 2.3 纳米薄膜的各向异性 | 第27-29页 |
| 2.3.1 倾斜生长法 | 第27-28页 |
| 2.3.2 Ti纳米薄膜各向异性的验证 | 第28-29页 |
| 2.4 金属微弹簧几何参数的控制 | 第29-32页 |
| 2.5 金属微弹簧的超临界干燥 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 基于Ti金属微弹簧的液体流速传感器 | 第34-43页 |
| 3.1 引言 | 第34-35页 |
| 3.2 液体流速传感器的结构与灵敏度 | 第35-41页 |
| 3.2.1 Ti金属微弹簧形貌分析 | 第35-38页 |
| 3.2.2 Ti金属微弹簧力学性质分析 | 第38-40页 |
| 3.2.3 液体流速传感器灵敏度 | 第40-41页 |
| 3.3 Ti金属微弹簧超弹性 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 刺激-响应卷曲微弹簧的制备及其性能研究 | 第43-54页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 刺激-响应卷曲微弹簧的制备 | 第44-46页 |
| 4.2.1 PVA-PAA薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 金属薄膜的制备 | 第45页 |
| 4.2.3 刻蚀窗口的制作 | 第45页 |
| 4.2.4 薄膜的释放 | 第45-46页 |
| 4.3 PVA-PAA薄膜形貌分析 | 第46-47页 |
| 4.4 PVA-PAA/金属卷曲微结构 | 第47-48页 |
| 4.5 刺激-响应行为 | 第48-53页 |
| 4.5.1 PVA-PAA/金属微弹簧 | 第49-50页 |
| 4.5.2 PVA-PAA/金属微管 | 第50-51页 |
| 4.5.3 PVA-PAA薄膜应变分析 | 第51-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
