| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 緒論 | 第9-12页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究目的及意義 | 第10页 |
| 1.3 研究方法與創新 | 第10-12页 |
| 1.3.1 本研究將採用的研究方法 | 第10-11页 |
| 1.3.2 本研究預計的主要創新點 | 第11-12页 |
| 第二章 相關理論綜述 | 第12-33页 |
| 2.1 半導體的生產原理及工藝 | 第12-16页 |
| 2.1.1 半導體的基本生產過程 | 第12-13页 |
| 2.1.2 積體電路制程的基本原理 | 第13-14页 |
| 2.1.3 離子植入機的工作原理 | 第14-16页 |
| 2.2 新“七大手法”在離子植入制程管理上的應用 | 第16-19页 |
| 2.2.1“新QC七大手法”的內容構成 | 第16-18页 |
| 2.2.2 新“QC七大手法”的運作原理 | 第18-19页 |
| 2.3 新“七大手法”在半導體品種管理上的不足 | 第19-21页 |
| 2.3.1 半導體企業發展特點 | 第19-20页 |
| 2.3.2 新“七大手法”在半導體品質管理上的不足 | 第20-21页 |
| 2.4 福特 8D法及其基本原理與實施步驟 | 第21-33页 |
| 2.4.1 福特 8D法的由來與發展 | 第21-22页 |
| 2.4.2 8D方法的特點 | 第22页 |
| 2.4.3 8D工作方法的主要優勢 | 第22-23页 |
| 2.4.4 福特 8D法的步驟描述 | 第23-30页 |
| 2.4.5 福特 8D法的運作原理 | 第30-31页 |
| 2.4.6 8D的應用範圍 | 第31-33页 |
| 第三章 基於福特 8D法改善離子植入制程的基本思路 | 第33-39页 |
| 3.1 福特 8D法在半導體品質管理上的主要優勢 | 第33-34页 |
| 3.1.1 科學的邏1與應用的便捷 | 第33页 |
| 3.1.2 對企業的組織結構不會產生影響 | 第33-34页 |
| 3.1.3 8D方法可以阻止偏差危害的繼續擴大 | 第34页 |
| 3.1.4 8D方法可以有效降低對環境污染的風險 | 第34页 |
| 3.2 採用福特 8D法改善離子植入制程的可行性 | 第34-35页 |
| 3.2.1 離子植入制程中影響產品品質的潛在因素過多 | 第34-35页 |
| 3.2.2 福特 8D問題解決團隊的組建具有可行性 | 第35页 |
| 3.2.3 8D方法最終導向問題預防符合企業要求 | 第35页 |
| 3.3 採用福特 8D法改善離子植入制程的基本切入點 | 第35-37页 |
| 3.3.1 理論切入點 | 第35-37页 |
| 3.3.2 實踐切入點 | 第37页 |
| 3.4 採用福特 8D法改善離子植入制程的管理模式 | 第37-39页 |
| 第四章 福特 8D法改善離子植入制程在實踐中的應用-----以A公司為例 | 第39-53页 |
| 4.1 A公司背景介紹 | 第39页 |
| 4.2 A公司離子植入制程的生產背景 | 第39-40页 |
| 4.3 A公司採用 8D法改善植入制程的基本方法 | 第40-47页 |
| 4.3.1 Discipline 1(D1):成立小組 | 第40-41页 |
| 4.3.2 Discipline 2(D2):問題描述 | 第41-42页 |
| 4.3.3 Discipline 3(D3):臨時對策 | 第42-43页 |
| 4.3.4 Discipline 4(D4):真因調查 | 第43-44页 |
| 4.3.5 Discipline 5(D5):擬定永久對策 | 第44-45页 |
| 4.3.6 Discipline 6(D6):執行永久對策 | 第45-46页 |
| 4.3.7 Discipline 7(D7):預防再發 | 第46-47页 |
| 4.3.8 Discipline 8(D8):肯定貢獻 | 第47页 |
| 4.4 A公司使用福特 8D方法進行品質控制後的績效評價 | 第47-53页 |
| 4.4.1 資料包絡分析 | 第48页 |
| 4.4.2 資料包絡分析模型 | 第48-50页 |
| 4.4.3 品質水準評價系統 | 第50-51页 |
| 4.4.4 運用DEA模型對數據分析 | 第51-53页 |
| 第五章 研究結論與未來展望 | 第53-56页 |
| 5.1 採用福特 8D法改善離子植入制程應注意的問題 | 第53-54页 |
| 5.2 研究结论 | 第54页 |
| 5.3 未來展望 | 第54-56页 |
| 參考文獻 | 第56-62页 |
| 发表论文及参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致謝 | 第63-64页 |
