| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 KDP晶体的性质 | 第13-14页 |
| 1.2 KDP晶体的超精密加工 | 第14-18页 |
| 1.2.1 KDP晶体的超精密切割 | 第14-15页 |
| 1.2.2 KDP晶体的超精密切削 | 第15-16页 |
| 1.2.3 KDP晶体的超精密磨削 | 第16-17页 |
| 1.2.4 KDP晶体的超精密抛光 | 第17-18页 |
| 1.3 课题研究的目的及意义 | 第18页 |
| 1.3.1 课题研究的目的 | 第18页 |
| 1.3.2 课题研究的意义 | 第18页 |
| 1.4 课题来源及本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第18页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第18-19页 |
| 1.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 CVD金刚石微刃加工原理 | 第20-29页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 CVD金刚石的表面形貌及主要性能 | 第20-22页 |
| 2.3 CVD金刚石微刃 | 第22-25页 |
| 2.3.1 CVD金刚石微刃加工 | 第22-23页 |
| 2.3.2 影响CVD金刚石微刃结构的因素 | 第23-25页 |
| 2.4 CVD金刚石微刃组成 | 第25-26页 |
| 2.5 CVD金刚石微刃刀具设计 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 微刃的可行性研究 | 第29-48页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验方案设计和实验条件 | 第29-34页 |
| 3.2.1 实验方案设计 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验条件 | 第30-34页 |
| 3.3 CVD金刚石微刃磨削加工KDP晶体的可行性研究 | 第34-36页 |
| 3.3.1 CVD金刚石微刃加工可行性实验 | 第34-35页 |
| 3.3.2 CVD金刚石微刃加工运动分析 | 第35-36页 |
| 3.4 对比影响砂轮与CVD金刚石磨削KDP晶体表面粗糙度的因素 | 第36-38页 |
| 3.5 对比砂轮与CVD金刚石磨削KDP晶体的表面微观形貌 | 第38-41页 |
| 3.6 对比砂轮与CVD金刚石磨削KDP晶体的表面杂质嵌入类型 | 第41-46页 |
| 3.7 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 KDP晶体磨削加工表面力学性能研究 | 第48-55页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 维氏压痕实验 | 第48-49页 |
| 4.3 实验结果的讨论 | 第49-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
