| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 二氧化钒材料的国内外研究历史与现状 | 第12-22页 |
| 1.3 无机柔性器件的国内外研究历史与现状 | 第22-28页 |
| 1.4 本论文的主要工作与结构安排 | 第28-30页 |
| 第二章 二氧化钒薄膜的制备转印与表征 | 第30-49页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 二氧化钒薄膜的制备 | 第30-38页 |
| 2.2.1 高分子钒前驱体溶液的配制 | 第31-33页 |
| 2.2.2 二氧化钒薄膜的沉积结晶 | 第33-34页 |
| 2.2.3 热力学原理 | 第34-38页 |
| 2.3 二氧化钒薄膜的转印 | 第38-40页 |
| 2.4 二氧化钒薄膜的表征 | 第40-48页 |
| 2.4.1 电子显微镜 | 第41-42页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜 | 第42-43页 |
| 2.4.3 X射线衍射 | 第43-44页 |
| 2.4.4 X射线光电子能谱分析 | 第44-46页 |
| 2.4.5 电阻测量系统 | 第46-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 基于二氧化钒薄膜的柔性结构的应变-相变调控 | 第49-66页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 基于二氧化钒薄膜的柔性结构的制备 | 第49-55页 |
| 3.2.1 实验方法与条件 | 第50-52页 |
| 3.2.2 刻蚀条件和转印条件的优化 | 第52-55页 |
| 3.3 应变对二氧化钒薄膜的相变调控 | 第55-65页 |
| 3.3.1 不同配比有机硅的热膨胀应变计算 | 第55-57页 |
| 3.3.2 二氧化钒薄膜受有机硅应变计算 | 第57-58页 |
| 3.3.3 二氧化钒薄膜断裂极限实验 | 第58-59页 |
| 3.3.4 应变对二氧化钒薄膜相变温度的影响 | 第59-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 基于二氧化钒薄膜的柔性呼吸传感器与红外传感器 | 第66-88页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 基于二氧化钒薄膜的柔性呼吸传感器的制备 | 第67-69页 |
| 4.3 柔性呼吸传感器的性能及应用 | 第69-82页 |
| 4.3.1 呼吸传感器的电阻-温度特性 | 第69-71页 |
| 4.3.2 呼吸传感器的应变稳定性 | 第71-72页 |
| 4.3.3 呼吸传感器的实际监测 | 第72-80页 |
| 4.3.4 呼吸传感器原理 | 第80-82页 |
| 4.4 基于二氧化钒薄膜的柔性红外传感器的制备 | 第82-83页 |
| 4.5 柔性红外传感器的性能及应用 | 第83-86页 |
| 4.6 本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 基于二氧化钒薄膜的柔性温度-应变传感器 | 第88-102页 |
| 5.1 引言 | 第88页 |
| 5.2 基于二氧化钒薄膜的柔性温度-应变传感器的制备 | 第88-90页 |
| 5.3 传感器的温度传感特性 | 第90-91页 |
| 5.4 传感器的力学传感特性 | 第91-98页 |
| 5.5 柔性温度-应变传感器的实际应用 | 第98-101页 |
| 5.6 本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第102-105页 |
| 6.1 全文总结 | 第102-103页 |
| 6.2 论文工作主要创新点 | 第103页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-117页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第117-118页 |
