| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 硅微谐振式加速度计研究背景 | 第11页 |
| 1.2 硅微谐振式加速度计研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外硅微谐振式加速度计研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内硅微谐振式加速度计研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 硅微谐振式加速度计温度补偿技术研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 结构层面的温度补偿技术研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.2 电气层面的温度补偿技术研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 硅微谐振式加速度计敏感结构处温度测量方法研究现状 | 第17-18页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 硅微谐振式加速度计基本理论及温度误差研究 | 第19-33页 |
| 2.1 硅微谐振式加速度计基本理论 | 第19-27页 |
| 2.1.1 工作原理 | 第19-21页 |
| 2.1.2 封装技术 | 第21-22页 |
| 2.1.3 测控电路 | 第22-27页 |
| 2.2 温度误差机理分析 | 第27-30页 |
| 2.2.1 材料特性 | 第27-29页 |
| 2.2.2 残余应力 | 第29-30页 |
| 2.2.3 加工误差 | 第30页 |
| 2.3 温度测量误差分析 | 第30-32页 |
| 2.3.1 热力学参数 | 第31页 |
| 2.3.2 温度传递模型 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 硅微谐振式加速度计温度特性实验 | 第33-45页 |
| 3.1 温度特性实验方法 | 第33-37页 |
| 3.1.1 测试平台 | 第33-34页 |
| 3.1.2 采集系统 | 第34-35页 |
| 3.1.3 实验方案 | 第35-37页 |
| 3.1.4 数据处理方法 | 第37页 |
| 3.2 温度特性实验结果分析 | 第37-44页 |
| 3.2.1 DEFT谐振器温度特性实验结果 | 第38-42页 |
| 3.2.2 加速度计温度特性实验结果 | 第42-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 圆片封装真空腔内的温度测量方法 | 第45-61页 |
| 4.1 外置铂电阻测温 | 第45-49页 |
| 4.1.1 温度传递离散模型 | 第45页 |
| 4.1.2 谐振器固有频率温度模型 | 第45-47页 |
| 4.1.3 温度传递模型辨识 | 第47-49页 |
| 4.2 差动谐振器互相测温 | 第49-50页 |
| 4.2.1 差动谐振器温度差模型 | 第49-50页 |
| 4.2.2 差动谐振器互相测温原理 | 第50页 |
| 4.3 谐振器品质因数测温 | 第50-57页 |
| 4.3.1 谐振器品质因数 | 第50-51页 |
| 4.3.2 谐振器品质因数的温度特性理论分析 | 第51-54页 |
| 4.3.3 谐振器品质因数的温度特性实验 | 第54-57页 |
| 4.4 三种腔内测温方法比较 | 第57-60页 |
| 4.4.1 定点恒温实验比较 | 第57-59页 |
| 4.4.2 斜坡升降温实验比较 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 硅微谐振式加速度计的温度补偿算法 | 第61-77页 |
| 5.1 温度误差建模方法 | 第61-62页 |
| 5.2 基于外置铂电阻的温度补偿算法 | 第62-67页 |
| 5.2.1 加速度计温度补偿模型 | 第62-64页 |
| 5.2.2 温度补偿算法实现及验证 | 第64-67页 |
| 5.3 差动谐振器温度自补偿算法 | 第67-76页 |
| 5.3.1 温度自补偿模型 | 第67-71页 |
| 5.3.2 加速度解算方法 | 第71-74页 |
| 5.3.3 温度自补偿算法实现与验证 | 第74-76页 |
| 5.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 6 硅微谐振式加速度计整表性能测试 | 第77-81页 |
| 6.1 标度因数测试 | 第77-78页 |
| 6.1.1 标度因数稳定性 | 第77-78页 |
| 6.1.2 标度因数重复性 | 第78页 |
| 6.2 零偏测试 | 第78-79页 |
| 6.3 温度特性测试 | 第79-80页 |
| 6.4 测试结果汇总 | 第80页 |
| 6.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 7 总结与展望 | 第81-83页 |
| 7.1 总结 | 第81-82页 |
| 7.2 展望 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 附录 | 第88页 |