CCD放大器测试方法的研究与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 CCD的应用与发展 | 第10-14页 |
| 1.2 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 CCD及源跟随放大器的理论研究与工艺设计 | 第17-47页 |
| 2.1 CCD的分类 | 第17-19页 |
| 2.2 CCD的性能参数 | 第19-20页 |
| 2.3 CCD及源跟随放大器的工作原理 | 第20-35页 |
| 2.3.1 CCD的基本结构 | 第20-26页 |
| 2.3.2 CCD的信号输入 | 第26-28页 |
| 2.3.3 CCD的电荷转移 | 第28-34页 |
| 2.3.4 CCD的信号输出 | 第34-35页 |
| 2.4 CCD及源跟随放大器的工艺设计 | 第35-46页 |
| 2.4.1 清洗及热氧化工艺 | 第36-38页 |
| 2.4.2 掺杂及薄膜淀积工艺 | 第38-40页 |
| 2.4.3 光刻及布线工艺 | 第40-43页 |
| 2.4.4 退火及中测工艺 | 第43-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 CCD放大器测试方法的研究与实现 | 第47-62页 |
| 3.1 CCD放大器MOS结构的设计值及工作条件 | 第47-48页 |
| 3.2 CCD放大器的结构设计及电路图 | 第48页 |
| 3.3 CCD放大器的测试原理 | 第48-49页 |
| 3.4 CCD放大器的测试条件 | 第49页 |
| 3.5 CCD放大器的测试电路图 | 第49-50页 |
| 3.6 CCD放大器测试系统的选择 | 第50-52页 |
| 3.7 CCD放大器测试系统软件的编制 | 第52-56页 |
| 3.8 不同类别CCD器件放大器测试结果 | 第56-61页 |
| 3.9 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 CCD源跟随放大器测试结果分析 | 第62-71页 |
| 4.1 影响直流输出电压的因素 | 第62-66页 |
| 4.2 失效CCD器件放大器测试结果及分析 | 第66-70页 |
| 4.2.1 放大倍数低 | 第67-68页 |
| 4.2.2 线性区窄 | 第68-69页 |
| 4.2.3 工作点漂移 | 第69-70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 结论 | 第71-73页 |
| 5.1 本文的主要贡献 | 第71页 |
| 5.2 下一步工作的展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第77-78页 |
